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製品紹介

Vシリーズ L型バルブ V-040LV/V-065LV/V-100LV

製品情報

概要

本バルブは、長寿命化とメンテナンス性向上を図ったL型バルブです。バルブに内蔵しているベローズは、材質にハステロイ合金を採用することで長寿命化を図りました。また、MSBシリーズはボンネット部にメタル中空Oリングを使用しているため、大気からのガス透過が無くガス分析真空装置などに最適です。バルブの種類は手動,圧空駆動ともサイズ及び接続フランジの種類が豊富に揃っています。

特長
  • 超高真空領域まで使用可能
    STDシリーズ*1は10-7Pa程度*2、MSBシリーズ*3は10-8Pa程度*2の超高真空領域までご使用可能
  • 長寿命バルブ
    内蔵されているベローズは成形ベローズです。材質はコスト及び寿命*4を考慮しハステロイ合金を使用
  • 開閉ポジションセンサスイッチ
    標準でバルブに使用しているエアーシリンダには全て、開閉用のポジションセンサスイッチ(磁気センサー)を装備
  • 優れた許容加熱性
    圧空駆動式バルブのエアーシリンダ耐熱120℃の高温仕様となっています。そのため、バルブ開時のバルブボディ部加熱温度はSTDシリーズで150℃,MSBシリーズで200℃までベークアウトが可能(但し、エアシリンダは120℃、センサスイッチは60℃を超えないようにご注意願います。)

*1)ボンネットフランジ部のシールにフッ素ゴムOリングを使用したスタンダード仕様。
*2)使い始めは、バルブ内部から水分などのガス放出があるため真空度はあくまで目安です。
  また到達圧力は、使用するポンプによって左右されるのでご注意願います。
*3)ボンネットフランジ部のシールにメタル中空Oリングを使用したメタルシール仕様。
  (流路を仕切る部分は、ふっ素ゴムOリングです。)
*4)ご使用条件でベローズの寿命は変わります。
  バルブのメンテナンス時期は実機でのご確認をお願いします。

仕様
サイズSTDシリーズMSBシリーズ
40651004065100
使用圧力領域大気圧~10-7Pa程度*1大気圧~10-8Pa程度*1
Heリーク量弁座部6.7×10-11Pa・m3/sec以下*2
外部6.7×10-11Pa・m3/sec以下*21.3×10-11Pa・m3/sec以下*2
全開時コンダクタンス (L/sec)19741761974176
許容
加熱温度
バルブ開時150℃*3200℃*3
バルブ閉時125℃*3
主要部材料バルブボディSUS-304
ベローズハステロイ C-22
駆動部エアーシリンダ(圧空駆動式バルブ):アルミ合金、ふっ素ゴムなど
ハンドル(手動バルブ):アルミ合金
真空シール材フッ素ゴムOリングフッ素ゴムOリング(メインシール部)
銀メッキメタル中空Oリング
(ボンネットシール部)
作動エアー圧0.4~0.6MPa
エアー消費量
(L/サイクル)*4
0.120.471.220.120.471.22
エアー供給口Rc1/8Rc1/4Rc1/8Rc1/4
使用流体大気またはガス (腐食性ガスを除く)
接続フランジICFフランジ φ70ICF回転 φ114ICF回転φ152ICF回転φ70ICF回転φ114ICF回転φ152ICF回転
NWフランジNW40NW63NW80NW40NW63NW80
旧JISフランジ旧JIS 40A旧JIS 65A旧JIS 100A旧JIS 40A旧JIS 65A旧JIS 100A

*1)使い始めは、バルブ内部から水分などのガス放出があるため真空度はあくまで目安です。また到達圧力は、使用するポンプによって左右されるのでご注意願います。
*2)ふっ素ゴムOリングのガス透過は仕様外。
*3)センサースイッチの耐熱は60℃ですので、120℃の加熱時はセンサースイッチを取り外してください。エアーシリンダ部を120℃以下に加熱制御できれば、バルブボディ部はSTDで150℃(バルブ開状態)、MSBで200℃(バルブ開状態、連続4時間)まで加熱可能です。
*4)エアー圧0.5MPa時1サイクル(開閉)でのエアー消費量です。NC式バルブの場合は約半分の値となります。

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