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製品紹介

イオンポンプ用制御装置 P-500シリーズ

製品情報

特長

10-2Pa~10-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又はノーブルポンプを運転する制御装置です。
表示は緑色の大型LEDを採用して、離れた位置からの視認性を向上しました。
従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を実現しています。
充実したI/0機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に最適です 。
イオンポンプ用とノ-ブルポンプ用それぞれに、超高真空型と高出力型の2タイプがあり、接続するポンプにより、動作可能圧力範囲と起動可能圧力が変わります。

特長
  • 高性能
    電流値・電圧値のモニタ時の表示可能最小値の改善、圧力表示の追加、各種保護機能など、高電圧電源に必要な基本機能を高いレベルで実現 ハードプロセス対応
  • 充実の機能
    セットポイント2点標準装備など各種I/O標準装備で外部制御に対応 停電自動復帰(選択可能)
  • 高互換性
    従来機種とリモ-トコネクタ、入力ケーブル、出力ケーブルの互換性を確保
  • 通信対応
    RS232C (オプション(工場組込対応))
  • 適合規格
    CEマーキング、RoHS指令 適合
用途
  • 電子顕微鏡、電子線描画装置
  • イオンビ-ム装置、マスクリペア装置
  • 蓄積リング、ビームライン等の加速器関連システム
  • MBE、表面分析装置等の超高真空装置、各種分析装置
仕様
イオンポンプ制御装置
型式P-511IPP-521NP
対応ポンプ全てのイオンポンプ
最大出力電圧DC+5.2KV±10%
DC+7.5KV±10%
DC+3.5KV±10%
プログラムモードでの切換式
最大出力電流43mA以上170mA以上
入力電圧AC90~250V 50/60Hz単相(マルチ電圧入力)
消費電力最大約500VA
外径寸法W209×H99×D370mm(1/2ラックサイズ)
質量約6Kg(オプションボード未装着)
使用温度/湿度0~40℃/85%RH以下(結露無きこと)
使用環境屋内使用/標高2000m以下/汚染度:2/設置カテゴリー:Ⅱ
表示範囲出力電圧0.1×103V(0.1KV)~8.0×103V(8.0KV)
出力電流0.1×10-7A(10nA)~5.0×10-1A(500mA)
圧力1.1×10-9~1.0×10-3Pa
(接続するポンプにより表示範囲が変わります)
1L/s及び8L/sの場合、表示機能なし
保護機能各種保護機能あり 保護機能動作時には表示部にエラーと番号表示
圧力接点1μA~99mAの範囲で2点設定可能
REMOTEモード前面パネルのREMOTEスイッチにてREMOTE/LOCALの切換が可能
対応CEマーキング、RoHS
ノーブルポンプ制御装置
型式P-511NPP-521NP
対応ポンプ全てのノーブルポンプ、エクセルポンプ、コンビネーションポンプ
最大出力電圧DC-5.2KV±10%
DC-7.0KV±10%
プログラムモードでの切換式
最大出力電流43mA以上170mA以上
入力電圧AC90~250V 50/60Hz単相(マルチ電圧入力)
消費電力最大約500VA
外径寸法W209×H99×D370mm(1/2ラックサイズ)
質量約6Kg(オプションボード未装着)
使用温度/湿度0~40℃/85%RH以下(結露無きこと)
使用環境屋内使用/標高2000m以下/汚染度:2/設置カテゴリー:Ⅱ
表示範囲出力電圧0.1×103V(0.1KV)~8.0×103V(8.0KV)
出力電流0.1×10-7A(10nA)~5.0×10-1A(500mA)
圧力1.1×10-9~1.0×10-3Pa
(接続するポンプにより表示範囲が変わります)
1L/s及び8L/sの場合、表示機能なし
保護機能各種保護機能あり 保護機能動作時には表示部にエラーと番号表示
圧力接点1μA~99mAの範囲で2点設定可能
REMOTEモード前面パネルのREMOTEスイッチにてREMOTE/LOCALの切換が可能
対応CEマーキング、RoHS

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