イオンポンプ/ノーブルポンプ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
イオンポンプ・ノーブルポンプは、磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料（Ti）をスパッタして、活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行う超高真空ポンプです。
特長
- 完全オイルフリー
油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られる - 超高真空、極超真空
イオンポンプ・ノーブルポンプは10-1Pa～10-9Paの圧力範囲で動作しますので極高真空の作成に最適 - 無人運転
運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利 - 不活性ガスの排気（ノーブルポンプ）
二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が大きくなっています（アルゴンで空気の約21％）
用途
- 完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系
- 電子顕微鏡、表面分析装置
- 粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置
- 電子管などの真空保持ポンプ
仕様
| 20L/s イオン ポンプ | 20L/s ノーブル ポンプ | 60L/s イオン ポンプ | 60L/s ノーブル ポンプ | |
| 型名 | 912-7125 | 912-7120 | 912-7165 | 912-7160 |
| 排気ガス速度 (N2ガス に対して) | 20L/s | 60L/s | ||
| 動作範囲 | 10-1～10-9Pa | 1～10-9Pa | 10-1～10-9Pa | 1～10-9Pa |
| 起動可能圧力 | 1.3Pa以下 | 6.7Pa以下 | 1.3Pa以下 | 6.7Pa以下 |
| 内容積 | 1.4L | 6.2L | ||
| 最大加熱温度 | 250℃ | |||
| 吸入口 | φ70ICF | φ152ICF | ||
| 電流導入端子 | 交換不可 | 954-7281 | ||
| 素子 (交換用) | 交換不可 | 915-7027(1組) | 915-9527(1組) | |
| マグネット | 912-7121 (1個)本体に含む | 912-7121 (2個)本体に含む | ||
| 質量 | 10.5kg | 25.6kg | ||
| 110L/s ノーブル ポンプ | 140L/s イオン ポンプ | 400L/sノーブル ポンプ | 500L/s イオン ポンプ | |
| 型名 | 912-7020 | 912-7010 | 912-7060 | 912-7050 |
| 排気ガス速度 （N2ガス に対して） | 110L/s | 140L/s | 400L/s | 500L/s |
| 動作範囲 | 1～10-9Pa | 10-1～10-9Pa | 1～10-9Pa | 10-1～10-9Pa |
| 起動可能圧力 | 6.7Pa以下 | 1.3Pa以下 | 6.7Pa以下 | 1.3Pa以下 |
| 内容積 | 18L | 38L | ||
| 最大加熱温度 | 250℃ | |||
| 吸入口 | φ203ICF | |||
| 電流導入端子 | 954-7281 | |||
| 素子（交換用） | 915-9520(1個) | 915-9510(1個) | 915-9520(4個) | 915-9510(4個) |
| マグネット | 912-7001 (1個)本体に含む | 912-7002 (2個)本体に含む | ||
| 質量 | 48kg | 120kg | ||