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製品紹介

イオンポンプ/ノーブルポンプ

製品情報

概要

イオンポンプ・ノーブルポンプは、磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行う超高真空ポンプです。

特長
  • 完全オイルフリー
    油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られる
  • 超高真空、極超真空
    イオンポンプ・ノーブルポンプは10-1Pa~10-9Paの圧力範囲で動作しますので極高真空の作成に最適
  • 無人運転
    運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利
  • 不活性ガスの排気(ノーブルポンプ)
    二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が大きくなっています(アルゴンで空気の約21%)
用途
  • 完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系
  • 電子顕微鏡、表面分析装置
  • 粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置
  • 電子管などの真空保持ポンプ
仕様
20L/s イオンポンプ20L/s ノーブルポンプ60L/s イオンポンプ60L/s ノーブルポンプ
型名912-7125912-7120912-7165912-7160
排気ガス速度
(N2
ガスに対して)
20L/s60L/s
動作範囲10-1~10-9Pa1~10-9Pa10-1~10-9Pa1~10-9Pa
起動可能圧力1.3Pa以下6.7Pa以下1.3Pa以下6.7Pa以下
内容積1.4L6.2L
最大加熱温度250℃
吸入口φ70ICFφ152ICF
電流導入端子交換不可954-7281
素子 (交換用)交換不可915-7027(1組)915-9527(1組)
マグネット912-7121 (1個)本体に含む912-7121 (2個)本体に含む
質量10.5kg25.6kg
110L/s ノーブルポンプ140L/s イオンポンプ400L/sノーブルポンプ500L/s イオンポンプ
型名 912-7020912-7010 912-7060912-7050
排気ガス速度
(N2ガスに対して)
110L/s140L/s400L/s500L/s
動作範囲1~10-9Pa10-1~10-9Pa1~10-9Pa10-1~10-9Pa
起動可能圧力6.7Pa以下1.3Pa以下6.7Pa以下1.3Pa以下
内容積18L38L
最大加熱温度250℃
吸入口φ203ICF
電流導入端子954-7281
素子(交換用)915-9520(1個)915-9510(1個)915-9520(4個)915-9510(4個)
マグネット912-7001 (1個)本体に含む912-7002 (2個)本体に含む
質量48kg120kg

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