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製品紹介

クリスタルイオンゲージ

製品情報

特長
  • クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
  • 超高真空から大気圧
  • 高精度、低真空領域において優れた再現性
用途

真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定など

仕様
クリスタルイオンゲージ
M-336MX-SP
セットポイント付タイプ
M-336MX-485
RS485タイプ
圧力測定範囲 *14 × 10-8~1 × 105(Pa)
入力電圧DC+20 ~ 28V
消費電力12W
アナログ出力0 ~ 10V
セットポイント2点出力
インターフェースRS485
入出力コネクタD-sub9ピン
最大ケーブル長300m (1mm2)
保護規格CE, RoHS, IP40
使用温度範囲*25 ~ 50℃
保存温度範囲*3-20 ~ 70℃ (非動作時)
センサ-型名MX-1
センサー材質(主要部)フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304
外形寸法(㎜)149×70×50(NW25)
フランジ形状NW16, NW25, NW40, φ70ICF
対応CEマーキング、RoHS、IP40

*1)測定下限圧力はB-Aゲージの軟X線限界を示します。
  測定下限圧力
  ICF :10-7Pa台
  NW :10-6Pa台
*2)高温での使用及び保存は寿命低下の原因となります。
*3)M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100mとなります。

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