クリスタルイオンゲージ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
特長
- クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
- 超高真空から大気圧
- 高精度、低真空領域において優れた再現性
用途
真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定など
仕様
| クリスタルイオンゲージ | ||
| M-336MX-SP セットポイント付タイプ | M-336MX-485 RS485タイプ | |
| 圧力測定範囲 *1 | 4 × 10-8～1 × 105（Pa） | |
| 入力電圧 | DC+20 ～ 28V | |
| 消費電力 | 12W | |
| アナログ出力 | 0 ～ 10V | – |
| セットポイント | 2点出力 | |
| インターフェース | – | RS485 |
| 入出力コネクタ | D-sub9ピン | |
| 最大ケーブル長 | 300m (1mm2) | |
| 保護規格 | CE, RoHS, IP40 | |
| 使用温度範囲*2 | 5 ～ 50℃ | |
| 保存温度範囲*3 | -20 ～ 70℃ (非動作時) | |
| センサ－型名 | MX-1 | |
| センサー材質(主要部) | フィラメント：Y2O3/Ir、ケース：SUS304 | |
| 外形寸法（㎜） | 149×70×50（NW25） | |
| フランジ形状 | NW16, NW25, NW40, φ70ICF | |
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 | |
*1）測定下限圧力はB-Aゲージの軟X線限界を示します。
測定下限圧力
ICF ：10-7Pa台
NW ：10-6Pa台
*2）高温での使用及び保存は寿命低下の原因となります。
*3）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。