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製品紹介

大型ステージ対応 触針式プロファイリングシステム DektakXTL

製品情報

概要

12インチウエハ、 350mmx350mmの基板サイズにフルアクセス可能な、半導体&大型試料対応の触針式プロファイリングシステムです。
オールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドはヘッド交換なしで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現することができます。
また、シングルアーチ型設計と最新のプロセッサーにより、5Åと比類ない測定再現性を実現します。さらに、Windows7 64Bit対応Visionソフトウエアが、パワフルで直感的オペレーションを提供します。

特長
  • 要求の厳しい製造現場の環境に最適
    Dektak XTLは、設置面積が狭く、スライドドア、カバーと統合された防振台により、今日の要求の厳しい製造現場の環境に最適。
  • デュアルカメラ構造
    デュアルカメラアーキテクチャは、空間認識の向上を可能にし、高度な自動化により製造スループットを向上させます。
  • 分析とデータ収集
    複雑なサンプルに対して、解析ルーティンを自動化し、必要な機能のみを報告します。

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