大型ステージ対応 触針式プロファイリングシステム DektakXTL
メーカー名：ブルカージャパン株式会社, ナノ表面計測事業部製品
製品情報
概要
12インチウエハ、 350mmx350mmの基板サイズにフルアクセス可能な、半導体＆大型試料対応の触針式プロファイリングシステムです。
オールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドはヘッド交換なしで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現することができます。
また、シングルアーチ型設計と最新のプロセッサーにより、5Åと比類ない測定再現性を実現します。さらに、Windows7 64Bit対応Visionソフトウエアが、パワフルで直感的オペレーションを提供します。
特長
- 要求の厳しい製造現場の環境に最適
Dektak XTLは、設置面積が狭く、スライドドア、カバーと統合された防振台により、今日の要求の厳しい製造現場の環境に最適。 - デュアルカメラ構造
デュアルカメラアーキテクチャは、空間認識の向上を可能にし、高度な自動化により製造スループットを向上させます。 - 分析とデータ収集
複雑なサンプルに対して、解析ルーティンを自動化し、必要な機能のみを報告します。