反応性ガス生成装置 ASTRON メーカー名：日本エム・ケー・エス株式会社, その他 製品情報 特長 チャンバのリモートプラズマ洗浄に定評のあるASTRONの最新機種コンパクトながら高出力・高解離運転中はアルゴン添加不要
