Products

製品紹介

四重極型質量分析計(プロセスガスモニタ) M−080QA-HPM

製品情報

概要

M-080QA-HPMは、10-9Pa~1.3Paの広範囲で動作可能な四重極型質量分析計です。
独自の技術により、超高真空とスパッタリングプロセス中の圧力領域を同一計測器で測定可能です。
成膜中のガスを監視できるため、ガス異常・リーク等の不具合を検知し、プロセス異常による製品不良を未然に防ぐことができます。

特長
  • チャンバー到達圧力からスパッタプロセス圧力までをシームレスに測定
  • 成膜中に高感度で水素を検出可能
  • メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト
  • 様々なアラーム機能により生産中に異常を検出
用途
  • 成膜中の品質管理
  • 残留ガス分析
  • リークチェック
仕様
機種名M-080QA-HPM
基本
性能
測定質量数範囲1~80m/z
動作圧力1.3Pa以下
最小検知濃度5ppm(H2を除く)、H2:100ppm以下
感度
(N2
FC7.5×10-9A/Pa以上
SEM7.5×10-5A/Pa以上
分解能< 1 amu @10% of peak heigt
仕様フィラメントイットリアコートイリジウム1本
ベーク温度250℃(分析管のみ)
接続フランジφ70ICF
定格入力電圧AC100V~AC240V
質量分析管1.1kg
コントローラ2.2kg
通信インターフェイスRS-232C/485
制御ソフトQUADVISION3 Windows7, 8.1, 10対応

PAGETOP