四重極型質量分析計(プロセスガスモニタ) M−080QA-HPM
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
M-080QA-HPMは、10-9Pa～1.3Paの広範囲で動作可能な四重極型質量分析計です。
独自の技術により、超高真空とスパッタリングプロセス中の圧力領域を同一計測器で測定可能です。
成膜中のガスを監視できるため、ガス異常・リーク等の不具合を検知し、プロセス異常による製品不良を未然に防ぐことができます。
特長
- チャンバー到達圧力からスパッタプロセス圧力までをシームレスに測定
- 成膜中に高感度で水素を検出可能
- メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト
- 様々なアラーム機能により生産中に異常を検出
用途
- 成膜中の品質管理
- 残留ガス分析
- リークチェック
仕様
| 機種名 | M-080QA-HPM | ||
| 基本 性能 | 測定質量数範囲 | 1～80m/z | |
| 動作圧力 | 1.3Pa以下 | ||
| 最小検知濃度 | 5ppm（H2を除く）、H2：100ppm以下 | ||
| 感度 （N2） | FC | 7.5×10-9A/Pa以上 | |
| SEM | 7.5×10-5A/Pa以上 | ||
| 分解能 | ＜ 1 amu @10% of peak heigt | ||
| 仕様 | フィラメント | イットリアコートイリジウム1本 | |
| ベーク温度 | 250℃（分析管のみ） | ||
| 接続フランジ | φ70ICF | ||
| 定格入力電圧 | AC100V～AC240V | ||
| 質量 | 分析管 | 1.1kg | |
| コントローラ | 2.2kg | ||
| 通信インターフェイス | RS-232C/485 | ||
| 制御ソフト | QUADVISION3 Windows7, 8.1, 10対応 | ||