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製品紹介

多層膜蒸着用 膜厚・レートモニター SQM-160

製品情報

概要

Multi-Channel Quartz Crystal Monitor

SQM-160は薄膜蒸着プロセスで、蒸着レートと膜厚を計測するために、インフィコンのクオーツクリスタルセンサーで証明されたテクノロジーを活用します。標準構成で2つのセンサーを入力ができ、オプション4センサーカードを追加することで、さらに4つのセンサーの入力することを可能にします。標準の2つのレコーダーアウトプットから、レートと膜厚のアナログ信号を出力します。
複数のセンサー入力は、1つの材料に対して1つのセンサーを割当てたり、大きな蒸着システムでは、1つの材料を複数のセンサーでその平均値を計測する、またはデュアルセンサーを割り当てられることができます。
レートサンプリングモードは、シャッター付きセンサーを高レートプロセスでのセンサー寿命を延ばします。レート表示は0.1Å/sまたは0.01Å/s、を選択出来ます。その他に周波数や質量表示も選択することが出来ます。
4つのリレー出力はSQM-160がソースまたはセンサーシャッターを制御するのに使用され、時間と膜厚のセットポイント信号の出力、クリスタルフェイルの信号として使用できます。
デジタル入力は、スタート/ストップ、ゼロリセット用の外部入力信号の制御を可能にします。
SQM-160では、コンピュータからRS-232通信ポート及びWindows®ソフトウェアを利用し、モニター機器を設定する事ができます。PC通信により、モニター機器の操作、全てのパラメータの設定・格納することができ、Excel®ファイル形式でプロセスデータを保存することが出来ます。また、USBもしくはイーサーネットオプションの選択も可能です。

EASY TO USE

レートと膜厚測定を始めるために、ゼロリセットを実効します。大きなディスプレー・明るいLED、レートと膜厚を同時に表示できるとても見やすいデザインとなっております。最終膜厚や設定時間を経過するとシャッターは閉じ、フロントパネルのLEDが点灯して確認出来ます。Xtal Lifeボタンを押すとクリスタルライフを確認出来ます。
2つのメニューは、99まで保存できるフィルムを設定するために使用されます。Programを押すとメニューにアクセスすることができ、パラメータの/編集に使用される、コントロールノブを搭載しております。主要なディスプレーはメニュー、数値、時間が表示されます。

■HIGH ACCURACY, LOW COST

標準の周波数分解能は1秒につき4readingsの0.12Hzです。高分解能オプションは、1秒につき10 readingsの0.03Hzです。温度安定性は、全ての操作の範囲の2ppmです。低価格でこのような高い精度、高い正確さを組み合わせたモニターは他に存在しません。

主な機能
  • 標準2チャンネルセンサー入力、オプション追加4センサー入力
  • レート/膜厚のアナログ信号出力
  • オプション:0.03Hz@10 readings/sec 高精度タイプ
  • RS-232 標準、USB or イーサーネット オプション
仕様
QCM Sensor Inputs標準:2 オプション:4
測定周波数レンジ1-10 MHz
周波数分解能標準:±0.12Hz @ 4 readings/sec
オプション:±0.03Hz @ 10 readings/sec
周波数安定性±2 ppm total, 0-50℃
測定周期0.10~2秒(0.05秒インクレメンツ)
測定フィルタリング1~20秒 readings
フィルム数99
アナログ出力0-10VDC レート及び膜厚の2個
デジタル入力/出力入力:2点 リレー出力:4点
PC通信標準:RS-232
オプション:USBまたはイーサーネット
電源100-120/200-240 VAC, 50/60Hz, 20W
CE 準拠Class1 equipment,
73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD
寸法1/2-ラック キャビネット, 高さ 3-1/2″ 89×213×197(H, W, D)mm
重量2.7Kg
Windows Softwareリモートセットアップ、操作、
データーロギング機能 下図参照
アクセサリー
782-900-00819″Rack Mount for one SQM160
782-900-01419″Rack Mount for two SQM160
SQM160 back panel
Windows Softwareは見やすくプロセスデータの分析に役立ちます。
SQM160セットアップデータをバックアップすることでプロセスの一貫性を容易にします。

一般的なSQM-160システム

QCMシステムは、1台のSQM-160モニターと最低1台のセンサーとフィードスルーで構成されます。

膜厚・レートモニター  STM-2
薄膜蒸着コントロール  SQC310シリーズ

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