多層膜蒸着用膜厚・レートモニター　SQM-160 製品紹介株式会社アールデック茨城県つくば市

多層膜蒸着用膜厚・レートモニター　SQM-160

メーカー名：インフィコン株式会社

製品情報

概要

Multi-Channel Quartz Crystal Monitor

SQM-160は薄膜蒸着プロセスで、蒸着レートと膜厚を計測するために、インフィコンのクオーツクリスタルセンサーで証明されたテクノロジーを活用します。標準構成で2つのセンサーを入力ができ、オプション4センサーカードを追加することで、さらに4つのセンサーの入力することを可能にします。標準の2つのレコーダーアウトプットから、レートと膜厚のアナログ信号を出力します。
複数のセンサー入力は、1つの材料に対して1つのセンサーを割当てたり、大きな蒸着システムでは、1つの材料を複数のセンサーでその平均値を計測する、またはデュアルセンサーを割り当てられることができます。
レートサンプリングモードは、シャッター付きセンサーを高レートプロセスでのセンサー寿命を延ばします。レート表示は0.1Å/sまたは0.01Å/s、を選択出来ます。その他に周波数や質量表示も選択することが出来ます。
4つのリレー出力はSQM-160がソースまたはセンサーシャッターを制御するのに使用され、時間と膜厚のセットポイント信号の出力、クリスタルフェイルの信号として使用できます。
デジタル入力は、スタート/ストップ、ゼロリセット用の外部入力信号の制御を可能にします。
SQM-160では、コンピュータからRS-232通信ポート及びWindows^®ソフトウェアを利用し、モニター機器を設定する事ができます。PC通信により、モニター機器の操作、全てのパラメータの設定・格納することができ、Excel^®ファイル形式でプロセスデータを保存することが出来ます。また、USBもしくはイーサーネットオプションの選択も可能です。

■EASY TO USE

レートと膜厚測定を始めるために、ゼロリセットを実効します。大きなディスプレー・明るいLED、レートと膜厚を同時に表示できるとても見やすいデザインとなっております。最終膜厚や設定時間を経過するとシャッターは閉じ、フロントパネルのLEDが点灯して確認出来ます。Xtal Lifeボタンを押すとクリスタルライフを確認出来ます。
2つのメニューは、99まで保存できるフィルムを設定するために使用されます。Programを押すとメニューにアクセスすることができ、パラメータの/編集に使用される、コントロールノブを搭載しております。主要なディスプレーはメニュー、数値、時間が表示されます。

■HIGH ACCURACY, LOW COST

標準の周波数分解能は1秒につき4readingsの0.12Hzです。高分解能オプションは、1秒につき10 readingsの0.03Hzです。温度安定性は、全ての操作の範囲の2ppmです。低価格でこのような高い精度、高い正確さを組み合わせたモニターは他に存在しません。

主な機能

標準2チャンネルセンサー入力、オプション追加4センサー入力
レート/膜厚のアナログ信号出力
オプション：0.03Hz@10 readings/sec 高精度タイプ
RS-232 標準、USB or イーサーネットオプション

仕様

QCM Sensor Inputs	標準：2　オプション：4
測定周波数レンジ	1-10 MHz
周波数分解能	標準:±0.12Hz @ 4 readings/sec オプション:±0.03Hz @ 10 readings/sec
周波数安定性	±2 ppm total, 0-50℃
測定周期	0.10~2秒（0.05秒インクレメンツ）
測定フィルタリング	1~20秒 readings
フィルム数	99
アナログ出力	0-10VDC レート及び膜厚の2個
デジタル入力/出力	入力：2点　リレー出力：4点
PC通信	標準：RS-232 オプション：USBまたはイーサーネット
電源	100-120/200-240 VAC, 50/60Hz, 20W
CE 準拠	Class1 equipment, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD
寸法	1/2-ラックキャビネット, 高さ 3-1/2″ 89×213×197（H, W, D）mm
重量	2.7Kg
Windows Software	リモートセットアップ、操作、データーロギング機能下図参照