膜厚・蒸着レートモニター STM-2
メーカー名：インフィコン株式会社
製品情報
概要
STM-2は、USB接続のシンプルさと、精密測定エンジンの正確さを兼ね備え、すべてがコンパクトで低価格のパッケージに統合されています。STM-2のコンパクトさとシンプルさにより、セットアップや操作も簡単で効率的です。
特徴
■卓越した性能
STM-2は、業界で最も正確なUSB給電の薄膜モニターです。毎秒10回の測定が可能で、1回の測定あたり0.037Åの分解能を実現しています（密度=1, Z retio =1の場合）。
■設置は簡単で自由自在
STM-2には、QCMセンサー/フィードスルーをWindows®パソコンに接続する為に必要なもの全てが付属しています。付属のBNCケーブルをフィードスルーからSTM-2に接続し、標準のミニUSBケーブル（付属）を使用してSTM-2をパソコンに接続するだけで、簡単に設置できます。外部オシレータや電源装置は必要ありません。
STM-2はオシレータを内蔵しているため、水晶振動子からの距離が1m（40インチ）以内であれば、簡単で費用効率の高い設置が可能です。STM-2をフィードスルーから1m以上離れた場所に取り付ける必要がある場合には、インフィコンの標準オシレータキットを使用できます。
■STM-2ソフトウェア
STM-2には、シンプルな操作とデータの記録が可能なソフトウェアが付属されています。また、最大で8台のSTM-2を同時に操作してデータを記録する為のWindowsソフトウェアも付属されています（1台のSTM-2につき、USBポートが1つ必要になります）。
■シンプルなQCM
図1は、一般的な薄膜蒸着システムを示しています。1つの完全なQCMシステムは、STM-2、センサー、フィードスルー、およびコンピュータで構成されています。
一般的なSTM-2システム
- STM-2
- センサー
- フィードスルー
- 水晶振動子（STM-2に含まれる製品は、ブロック図のBNCケーブル、STM-2、USBケーブル、および専用ソフトフェアとなります。）
仕様
| センサー種類 | シングルQCMセンサー （シャッター制御はできません） |
| センサー入力数 | STM-2×1台につきセンサー×１台 |
| センサー入力端子 | BNCメスコネクタ |
| 使用可能な水晶振動子 | 6 MHz |
| 周波数分解能 | 0.03 Hz（6 MHzにおいて） |
| 測定間隔 | 0.10 s |
| 基準周波数の安定性 | ±2 ppm |
| 膜厚とレートの 分解能/測定 | 0.037Å （Tooling Factor=100、密度=1、Z ratio=1、6 MHzの場合） |
| 膜厚の表示の分解能 | 1Å（ソフトウェアでの表示のみ） |
| インターフェース | 400 mA、5V DCの給電が可能なv1.1以降のUSB |
| 寸法 | 11.4×7.6×2.5cm（4.5×3×1インチ） |
| 質量 | 57g |
| コンピュータ要件 | Windows 2000以降のMicrosoft のいずれかのOSを実行しているパソコンで、 １台のSTM-2につき１つのUSB1.1以降のポートを使用できること。 |
ソフトウェア
- シンプルな操作とデータの記録が可能
- 最大８台のSTM-2を同時に操作可能
（１台のSTM-2につきUSBポートが１つ必要）
その他、デュアルセンサーやシャッター付きセンサーなど様々なタイプの検出器を取り扱っております。
お問い合せください。