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製品紹介

膜厚・蒸着レートモニター STM-2

製品情報

概要

STM-2は、USB接続のシンプルさと、精密測定エンジンの正確さを兼ね備え、すべてがコンパクトで低価格のパッケージに統合されています。STM-2のコンパクトさとシンプルさにより、セットアップや操作も簡単で効率的です。

特徴

■卓越した性能

STM-2は、業界で最も正確なUSB給電の薄膜モニターです。毎秒10回の測定が可能で、1回の測定あたり0.037Åの分解能を実現しています(密度=1, Z retio =1の場合)。

■設置は簡単で自由自在

STM-2には、QCMセンサー/フィードスルーをWindows®パソコンに接続する為に必要なもの全てが付属しています。付属のBNCケーブルをフィードスルーからSTM-2に接続し、標準のミニUSBケーブル(付属)を使用してSTM-2をパソコンに接続するだけで、簡単に設置できます。外部オシレータや電源装置は必要ありません。
STM-2はオシレータを内蔵しているため、水晶振動子からの距離が1m(40インチ)以内であれば、簡単で費用効率の高い設置が可能です。STM-2をフィードスルーから1m以上離れた場所に取り付ける必要がある場合には、インフィコンの標準オシレータキットを使用できます。

STM-2ソフトウェア

STM-2には、シンプルな操作とデータの記録が可能なソフトウェアが付属されています。また、最大で8台のSTM-2を同時に操作してデータを記録する為のWindowsソフトウェアも付属されています(1台のSTM-2につき、USBポートが1つ必要になります)。

シンプルなQCM

図1は、一般的な薄膜蒸着システムを示しています。1つの完全なQCMシステムは、STM-2、センサー、フィードスルー、およびコンピュータで構成されています。

一般的なSTM-2システム
  • STM-2
  • センサー
  • フィードスルー
  • 水晶振動子(STM-2に含まれる製品は、ブロック図のBNCケーブル、STM-2、USBケーブル、および専用ソフトフェアとなります。)
図1:一般的なSTM-2の設置

仕様
センサー種類シングルQCMセンサー
(シャッター制御はできません)
センサー入力数STM-2×1台につきセンサー×1台
センサー入力端子BNCメスコネクタ
使用可能な水晶振動子6 MHz
周波数分解能0.03 Hz(6 MHzにおいて)
測定間隔0.10 s
基準周波数の安定性±2 ppm
膜厚とレートの
分解能/測定
0.037Å
(Tooling Factor=100、密度=1、Z ratio=1、6 MHzの場合)
膜厚の表示の分解能1Å(ソフトウェアでの表示のみ)
インターフェース400 mA、5V DCの給電が可能なv1.1以降のUSB
寸法11.4×7.6×2.5cm(4.5×3×1インチ)
質量57g
コンピュータ要件Windows 2000以降のMicrosoft のいずれかのOSを実行しているパソコンで、
1台のSTM-2につき1つのUSB1.1以降のポートを使用できること。
ソフトウェア
図2:STM-2のWindowsソフトウェア
  • シンプルな操作とデータの記録が可能
  • 最大8台のSTM-2を同時に操作可能
    (1台のSTM-2につきUSBポートが1つ必要)

その他、デュアルセンサーやシャッター付きセンサーなど様々なタイプの検出器を取り扱っております。
お問い合せください。

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