薄膜蒸着コントローラ SQC310シリーズ
メーカー名：インフィコン株式会社
製品情報
連続蒸着、同時蒸着の精密コントロール
QCMによる膜厚計測のリーダーがお届けする最も手頃な価格帯の高度マルチレイヤコントローラ
高度なエレクトロニクスとさらに改良されたディスプレイ、非常に手頃な価格という特徴を兼ね備えたインフィコン SQC310シリーズは他社の競合製品では得られない機能をお客様に提供します。連続蒸着用SQC310、または同時蒸着用のSQC310Cからお客様のアプリケーションに最適なモデルを選択することが出来ます。
連続蒸着用のSQC310は、2点のセンサー入力、2点のソース出力、8点のデジタル入力/出力を備え、オプションとして提供される拡張カードを使用すれば、これらの入出力点数を2倍に増やすことができます。
同時蒸着用のSQC310Cコントローラは、4個までのクオーツクリスタスセンサをモニターする能力を持ち、4点のPIDコントロール出力、16点のデジタル入力、16点のリレー出力を備え、SQC310と同様の使用を満たしております。
主な機能
- 明るい1/4“VGAアクティブマトリックスカラー、LCDディスプレイ（英語または中国語表示）
- RS-232（標準）およびUSB（オプションとしてイーサネット）
- 簡単なセットアップと操作：”Quick Setup”メニューと6種類の文脈依存式押しボタン、便利なパラメータ設定ノブを使用します。
- プロセスの開発・試験・ダウンロードのほか、装置データをPCに記録してプロセスの解析や品質管理を行うWindows®プログラム。
- 特に低い蒸着速度で威力を発揮する正確なプロセスコントロール（毎秒10回の読取りで±0.03Hzの分解能、0~50℃の範囲で周波数安定性±2ppm）
- 100プロセス、1,000レイヤ、50フィルムまで記録できるストレージ容量。
- ソース材料を1つまたは複数のセンサーで監視することにより正確なソース分布モニタリングを行います。
仕様
| SQC310 | SQC310C | |
| 測定 | ||
| QCM入力 | 2（4オプション） | 4 |
| 周波数範囲 | 4~6MHz | |
| 周波数分解能 | ±0.03Hz（測定周期0.10秒） | |
| 周波数安定性 | ±2ppm total, 0-50℃ | |
| 測定速度 | 1~10Hz | |
| 速度表示 | 0.01Å/sec | |
| コントロール | ||
| ストレージ容量 | 100プロセス、1000レイヤ、50フィルム | |
| コントロール出力 | 2（4オプション） | 4 |
| 出力信号 | ±0~10VDC、15ビット | |
| デジタル入力/リレー | 8（16オプション） | 16 |
| デジタル入力 | 5VDC、非絶縁 | |
| リレー | 単極単投（SPST）、1A、30V（2A max） | |
| インターフェイス | RS-232およびUSB（オプションとしてイーサネット） | |
| リモート電力コントロール | オプション | |
| 表示 | ||
| 型式 | 1/4″ VGA、320×240、アクティブマトリックス カラーLCD | |
| グラフ | 速度、偏差、電力、または全画面数値表示 | |
| 一般事項 | ||
| 電力 | 100~240VAC、50/60Hz、25W | |
| 準拠規格 | CE | |
| Windows® ソフトウェア | 標準添付 | |
| ハウジング/取付け | 5 1/4″ ハーフラック | |