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製品紹介

薄膜蒸着コントローラ SQC310シリーズ

製品情報

連続蒸着、同時蒸着の精密コントロール
QCMによる膜厚計測のリーダーがお届けする最も手頃な価格帯の高度マルチレイヤコントローラ

高度なエレクトロニクスとさらに改良されたディスプレイ、非常に手頃な価格という特徴を兼ね備えたインフィコン SQC310シリーズは他社の競合製品では得られない機能をお客様に提供します。連続蒸着用SQC310、または同時蒸着用のSQC310Cからお客様のアプリケーションに最適なモデルを選択することが出来ます。

連続蒸着用のSQC310は、2点のセンサー入力、2点のソース出力、8点のデジタル入力/出力を備え、オプションとして提供される拡張カードを使用すれば、これらの入出力点数を2倍に増やすことができます。

同時蒸着用のSQC310Cコントローラは、4個までのクオーツクリスタスセンサをモニターする能力を持ち、4点のPIDコントロール出力、16点のデジタル入力、16点のリレー出力を備え、SQC310と同様の使用を満たしております。

主な機能
  • 明るい1/4“VGAアクティブマトリックスカラー、LCDディスプレイ(英語または中国語表示)
  • RS-232(標準)およびUSB(オプションとしてイーサネット)
  • 簡単なセットアップと操作:”Quick Setup”メニューと6種類の文脈依存式押しボタン、便利なパラメータ設定ノブを使用します。
  • プロセスの開発・試験・ダウンロードのほか、装置データをPCに記録してプロセスの解析や品質管理を行うWindows®プログラム。
  • 特に低い蒸着速度で威力を発揮する正確なプロセスコントロール(毎秒10回の読取りで±0.03Hzの分解能、0~50℃の範囲で周波数安定性±2ppm)
  • 100プロセス、1,000レイヤ、50フィルムまで記録できるストレージ容量。
  • ソース材料を1つまたは複数のセンサーで監視することにより正確なソース分布モニタリングを行います。
仕様
SQC310SQC310C
測定
QCM入力2(4オプション)4
周波数範囲4~6MHz
周波数分解能±0.03Hz(測定周期0.10秒)
周波数安定性±2ppm total, 0-50℃
測定速度1~10Hz
速度表示0.01Å/sec
コントロール
ストレージ容量100プロセス、1000レイヤ、50フィルム
コントロール出力2(4オプション)4
出力信号±0~10VDC、15ビット
デジタル入力/リレー8(16オプション)16
デジタル入力5VDC、非絶縁
リレー単極単投(SPST)、1A、30V(2A max)
インターフェイスRS-232およびUSB(オプションとしてイーサネット)
リモート電力コントロールオプション
表示
型式1/4″ VGA、320×240、アクティブマトリックス カラーLCD
グラフ速度、偏差、電力、または全画面数値表示
一般事項
電力100~240VAC、50/60Hz、25W
準拠規格CE
Windows® ソフトウェア標準添付
ハウジング/取付け5 1/4″ ハーフラック

膜厚・レートモニター  STM-2
多層膜蒸着用 膜厚・レートモニター SQM160

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