薄膜蒸着コントローラ XTC3
メーカー名：インフィコン株式会社
製品情報
シングル、マルチレイヤーに対応しコストパホーマンスに優れるXTC/3でお客様のご要求にお応えします。
シングル、マルチレイヤープロセス薄膜蒸着コントローラに必要なすべての機能を1 台の装置で実現したXTC/3 はModeLock技術（特許取得）を使用しモードホイッピングを防ぎ、高い蒸着精度を保証します。
XTC/3 薄膜蒸着コントローラをご使用頂くことにより、実質的にレイヤー数に制限のない多層薄膜の蒸着速度と膜厚の精密コントロールが可能となり、しかも設置が簡単で極めて高い信頼性を持つこの装置は生産性向上に
大きく寄与します。
特長のまとめ
- シングルレイヤ対応モデルとマルチレイヤー対応モデルよりお選び下さい
- 特許を取得した ModeLock 技術がモードホッピングに起因する膜厚誤差を防止
- INFICON の Crystal 12™、CrystalSix®、およびデュアルセンサーにも対応し最高の生産性を実現
- マルチレイヤーモデルである XTC/3M は 99 までのプロセス、999 までのレイヤ数、32 枚までのフィルム、
さらに 2個のセンサーと 2 種類の蒸着源をサポート - シングルレイヤモデルである XTC/3S は 9 枚までのフィルムと 2 個のセンサー、2 種類の蒸着源をサポート
- 見易い TFT LCD グラフィックディスプレイ
- フィルムとプロセスごとに他と混同せずに内容がすぐ分かる名前を付け、その名前で簡単に呼び出すことが
可能 - Ethernet 接続可能（オプション）
- スタンドアロン動作（コンピューター不要）と PC コントロールの両方に対応（オプションとして Windows ソフトウェアを提供）
- INFICON XTC/2 コントローラにプラグ＆プレイ方式で置き換え可能（XTC/2 の機能とコマンドセットに限定されます）
仕様
| Feature, Parameter, or Specification | XTC/3S Single Layer | XTC/3M Multiple Layer |
| Frequency Change Measurement Resolution | ± 0.05 Hz | ± 0.05 Hz |
| Measurement Interval | 0.25 seconds | 0.25 seconds |
| Thickness & Rate Resolution / Measurement | 0.034 Angstroms @ Tooling/density = 100, fundamental frequency = 6 MHz | 0.034 Angstroms @ Tooling/density = 100, fundamental frequency = 6 MHz |
| Measurement Technology | ModeLock | ModeLock |
| Number of Processes | 1 | 99 |
| Number of Layers | 1 | 999 |
| Number of Material Programs (or Films) | 9 | 32 |
| Number of Sensor Inputs | 2 standard | 2 standard |
| CrystalSix / Crystal 12 Sensor Support | Yes | Yes |
| Support XTAL2 Switch | Yes | Yes |
| Number of Source Outputs | 2 standard | 2 standard |
| Computer Communications | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional |
| Max RS232 Baud Rate | 115.2 KBaud | 115.2 KBaud |
| Automatic Crystal Switch | Yes | Yes |
| Number of Relays | 12 standard, Not Event Assignable | 12 standard, Event Assignable |
| Number of Programmable Relay Functions | 1 | 1 |
| Functions per Relay | 1 | 1 |
| Relay Voltage Rating | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps |
| Number of Inputs | 8 TTL, 24VDC Max | 8 TTL, 24VDC Max |
| Number of Programmable Input Functions | 1, Not Event Assignable | 1, Event Assignable |
| Number of Recorder Outputs | 1 | 1 |
| Manual Power / Hand Held Controller | Yes | Yes |
| Exhaust Fan | No Exhaust Fan | No Exhaust Fan |
| Test Mode | Yes | Yes |
| Shutter Delay | Yes | Yes |
| Secondary Tooling | Yes | Yes |
| Crystal Starting Frequency | 6 MHz | 6 MHz |
| Maximum Allowed Frequency Shift | 1.0 MHz | 1.0 MHz |
| Case Dimensions | half rack, 2U high | half rack, 2U high |
| Rate and Thickness Display Resolution | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A |
| Film Select via Inputs | Yes | No |
| User Guide Languages | English, Chinese | English, Chinese |
| Control Loops | PID | PID |
| Software to Operate from PC | Yes | Yes |
| Datalogging | Yes | Yes |
| Quality and Stability Function | Yes | Yes |
| Sample and Hold (RateWatcher™) | Yes | Yes |
| Crucible Selection | Yes | Yes |
| Crucible Feedback Input | Yes | Yes |
| Select Control Voltage Polarity | Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution | Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution |
| Program Lock Code | Yes | Yes |
| Display with Graphics | Yes | Yes |
| User Labeled Processes (cell phone style alphanumeric entry) | No | Yes |
| User Labeled Films (cell phone style alphanumeric entry) | No | Yes |
| Transfer Sensor Control | Yes | Yes |
| XTC/2 RS232 Communications Compatibility | Yes (limited) | Yes (limited) |