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製品紹介

薄膜蒸着コントローラ XTC3

製品情報

シングル、マルチレイヤーに対応しコストパホーマンスに優れるXTC/3でお客様のご要求にお応えします。

シングル、マルチレイヤープロセス薄膜蒸着コントローラに必要なすべての機能を1 台の装置で実現したXTC/3 はModeLock技術(特許取得)を使用しモードホイッピングを防ぎ、高い蒸着精度を保証します。
XTC/3 薄膜蒸着コントローラをご使用頂くことにより、実質的にレイヤー数に制限のない多層薄膜の蒸着速度と膜厚の精密コントロールが可能となり、しかも設置が簡単で極めて高い信頼性を持つこの装置は生産性向上に
大きく寄与します。

特長のまとめ
  • シングルレイヤ対応モデルとマルチレイヤー対応モデルよりお選び下さい
  • 特許を取得した ModeLock 技術がモードホッピングに起因する膜厚誤差を防止
  • INFICON の Crystal 12™、CrystalSix®、およびデュアルセンサーにも対応し最高の生産性を実現
  • マルチレイヤーモデルである XTC/3M は 99 までのプロセス、999 までのレイヤ数、32 枚までのフィルム、
    さらに 2個のセンサーと 2 種類の蒸着源をサポート
  • シングルレイヤモデルである XTC/3S は 9 枚までのフィルムと 2 個のセンサー、2 種類の蒸着源をサポート
  •  見易い TFT LCD グラフィックディスプレイ
  • フィルムとプロセスごとに他と混同せずに内容がすぐ分かる名前を付け、その名前で簡単に呼び出すことが
    可能
  • Ethernet 接続可能(オプション)
  • スタンドアロン動作(コンピューター不要)と PC コントロールの両方に対応(オプションとして Windows ソフトウェアを提供)
  • INFICON XTC/2 コントローラにプラグ&プレイ方式で置き換え可能(XTC/2 の機能とコマンドセットに限定されます)
仕様
Feature, Parameter, or SpecificationXTC/3S Single LayerXTC/3M Multiple Layer
Frequency Change Measurement Resolution± 0.05 Hz± 0.05 Hz
Measurement Interval0.25 seconds0.25 seconds
Thickness & Rate Resolution / Measurement0.034 Angstroms @ Tooling/density = 100,
fundamental frequency = 6 MHz
0.034 Angstroms @ Tooling/density = 100,
fundamental frequency = 6 MHz
Measurement TechnologyModeLockModeLock
Number of Processes199
Number of Layers1999
Number of Material Programs (or Films)932
Number of Sensor Inputs2 standard2 standard
CrystalSix / Crystal 12 Sensor SupportYesYes
Support XTAL2 SwitchYesYes
Number of Source Outputs2 standard2 standard
Computer CommunicationsRS232 standard, Ethernet TCP/IP optionalRS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
Max RS232 Baud Rate115.2 KBaud115.2 KBaud
Automatic Crystal SwitchYesYes
Number of Relays12 standard, Not Event Assignable12 standard, Event Assignable
Number of Programmable Relay Functions11
Functions per Relay11
Relay Voltage Rating30VDC or 30VAC RMS or
42V peak at 2.5 Amps
30VDC or 30VAC RMS or
42V peak at 2.5 Amps
Number of Inputs8 TTL, 24VDC Max8 TTL, 24VDC Max
Number of Programmable Input Functions1, Not Event Assignable1, Event Assignable
Number of Recorder Outputs11
Manual Power / Hand Held ControllerYesYes
Exhaust FanNo Exhaust FanNo Exhaust Fan
Test ModeYesYes
Shutter DelayYesYes
Secondary ToolingYesYes
Crystal Starting Frequency6 MHz6 MHz
Maximum Allowed Frequency Shift1.0 MHz1.0 MHz
Case Dimensionshalf rack, 2U highhalf rack, 2U high
Rate and Thickness Display Resolution0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s,
display thickness resolution
= 1 A
0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s,
display thickness resolution
= 1 A
Film Select via InputsYesNo
User Guide LanguagesEnglish, ChineseEnglish, Chinese
Control LoopsPIDPID
Software to Operate from PCYesYes
DataloggingYesYes
Quality and Stability FunctionYesYes
Sample and Hold (RateWatcher™)YesYes
Crucible SelectionYesYes
Crucible Feedback InputYesYes
Select Control Voltage PolarityYes, +/- 2.5, 5, 10 Volts;
15-bit Resolution
Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts;
15-bit Resolution
Program Lock CodeYesYes
Display with Graphics Yes Yes
User Labeled Processes
(cell phone style alphanumeric entry)
NoYes
User Labeled Films
(cell phone style alphanumeric entry)
NoYes
Transfer Sensor ControlYes Yes
XTC/2 RS232 Communications CompatibilityYes (limited)Yes (limited)

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