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製品紹介

同時蒸着コントローラ Guardian

製品情報

薄膜プロセス用同時蒸着コントロールシステム
複数の材料を仕様する同時蒸着のコントロール

主な機能
  • 8 種類までの材料の同時蒸着のモニタリングとコントロール
  •  0.1 から 10,000 Å/sec の蒸着速度に対応
  • EIES と QCM を統合した薄膜プロセスコントロール
  • CIGS 薄膜に理想的

 ■次世代の新技術を高精度にコントロールします

Guardian 同時蒸着コントローラは、電子衝撃発光分光(EIES)を備えることによって
CIGS 膜製造過程における膜品質の再現性を著しく向上させました。
Guardian ならば、0.1 から 10,000 Å/s に至る蒸着レートを高精度にコントロールすることができます。
1または、2点のセンサーと8点の光学入力を操作して、最高8種類までの蒸着源をコントロールできる
このシステムを使用して、8 種類までの材料を使用した同時蒸着が可能になります。

Guardian が使用する独自の EIES センサー(特許出願中)は、CIGS プロセスのモニタリング中も
残留ガスからの干渉を補正して、精密に蒸着速度を測定します。
複合材料薄膜の蒸着プロセスも Windows(R) ソフトウェアを使用することで、簡単に設定と操作を行うことができます。
Guardian は、 INFICON Sentinel(R)センサーに完全に適合しますから、既存システムへの統合も容易です。
Guardian 同時蒸着コントローラは、複数の材料を同時に蒸着させるプロセスのコントロールに理想的な
装置であり、このようなプロセスには、たとえば光発電用の CIGS、MBE、OLED、超伝導薄膜などが
含まれます。

システムの概要

Guardian システムを完全に機能させるためには、少なくとも1点のセンサー、1 つの検出器、光学フィルター、コントローラ/ インターフェイス ユニットおよび、Guardianソフトウェアをインストールした PC 互換
コンピューター(ユーザーにてご用意ください)から構成されます。

EIES は複数の材料の蒸着コントロールに使用するのが一般的であるため、大部分の EIES システムにはセンサーと検出器、ビームスプリッタなどの光学部品、ある種の材料の校正や蒸着速度コントロールに使用される
クオーツクリスタルモニター(QCM)が追加されます。
Guardian システムの典型的なシステム構成ブロックダイアグラムを図 1 に示します。
このシステムで Guardian は、4 種類の材料の蒸着速度をコントロールしていますが、その中の 3 種類の材料については EIES、残りの 1 種類については QCM を使用しています。(光発電薄膜アプリケーション向け CIGS 材料蒸着で一般に使用される構成です。)

図1 – 典型的なシステム構成
仕様
センサー
動作圧<5×10-4 Torr
温度450℃ max、動作中およびベークアウト
寸法(概略値)3/4″×1 1/4″×1 3/4″(19×32×45 mm)
フィラメント寿命(典型値)約 1000 時間
センサー – フィードスルー間のリンク非柔軟性SSチューブ、長さは~7″から
17″(~175〜430mm)の範囲で調節可能
フィードスルー/ フランジ2 3/4″ CF(NW35CF)上に光学系フィードスルー× 1、
電気系フィードスルー× 4
検出器
光電子増倍管(PMT)浜松ホトニクス R7518、または相当品
スペクトル応答185~730 nm
検出限界光学入力パワーとして5fW 以上
PMT ゲイン103~107(検出器は個別に調節可能)
出力分解能20ビット
光入力ポート組み込みフィルターホルダー:直径 1″(25 mm)、
厚さ 0.2″(5mm)までのフィルター装着可能
寸法2″ × 5.5″ × 2.75″(50 × 140 × 70 mm)
3方向の側面に取付け穴
(取付け用ブラケットをオプションとして提供)
コントローラ
センサー782-900-031: 1 センサー駆動
782-900-051: 1 または 2 センサー駆動
検出器8 点の光学検出器チャンネル
コントロール出力8 点の蒸発源コントロール出力、0 ~ 10 VDC の範囲で
プログラム設定可能
デジタル I/Oリレー出力× 12、論理入力× 12
電力100-240 VAC、50/60 Hz、150 W
寸法19″×3.5″×12″(483×89×305 mm)
準拠規格CE
ユーザー
インターフェース
ソフトウェア設定用 Windows® プログラムがコントローラに標準添付されます
表示蒸着速度全チャンネルの 4 桁数値表示(0.001 ~ 999.9 Å/s)、
および X-Y スクロール グラフ表示(スケール選択)
厚み5 桁数字表示(レンジ選択)、000.01 ~ 999.99 KÅ
コンピュータユーザーにて
ご用意ください
Windows®Vista/XP/2000 を搭載する PC、イーサネット
または RS-232 インターフェイスが必要

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