同時蒸着コントローラ Guardian
メーカー名：インフィコン株式会社
製品情報
薄膜プロセス用同時蒸着コントロールシステム
複数の材料を仕様する同時蒸着のコントロール
主な機能
- 8 種類までの材料の同時蒸着のモニタリングとコントロール
- 0.1 から 10,000 Å/sec の蒸着速度に対応
- EIES と QCM を統合した薄膜プロセスコントロール
- CIGS 薄膜に理想的
■次世代の新技術を高精度にコントロールします
Guardian 同時蒸着コントローラは、電子衝撃発光分光（EIES）を備えることによって
CIGS 膜製造過程における膜品質の再現性を著しく向上させました。
Guardian ならば、0.1 から 10,000 Å/s に至る蒸着レートを高精度にコントロールすることができます。
1または、2点のセンサーと8点の光学入力を操作して、最高8種類までの蒸着源をコントロールできる
このシステムを使用して、8 種類までの材料を使用した同時蒸着が可能になります。
Guardian が使用する独自の EIES センサー（特許出願中）は、CIGS プロセスのモニタリング中も
残留ガスからの干渉を補正して、精密に蒸着速度を測定します。
複合材料薄膜の蒸着プロセスも Windows(R) ソフトウェアを使用することで、簡単に設定と操作を行うことができます。
Guardian は、 INFICON Sentinel(R)センサーに完全に適合しますから、既存システムへの統合も容易です。
Guardian 同時蒸着コントローラは、複数の材料を同時に蒸着させるプロセスのコントロールに理想的な
装置であり、このようなプロセスには、たとえば光発電用の CIGS、MBE、OLED、超伝導薄膜などが
含まれます。
■システムの概要
Guardian システムを完全に機能させるためには、少なくとも1点のセンサー、1 つの検出器、光学フィルター、コントローラ/ インターフェイス ユニットおよび、Guardianソフトウェアをインストールした PC 互換
コンピューター（ユーザーにてご用意ください）から構成されます。
EIES は複数の材料の蒸着コントロールに使用するのが一般的であるため、大部分の EIES システムにはセンサーと検出器、ビームスプリッタなどの光学部品、ある種の材料の校正や蒸着速度コントロールに使用される
クオーツクリスタルモニター（QCM）が追加されます。
Guardian システムの典型的なシステム構成ブロックダイアグラムを図 1 に示します。
このシステムで Guardian は、4 種類の材料の蒸着速度をコントロールしていますが、その中の 3 種類の材料については EIES、残りの 1 種類については QCM を使用しています。（光発電薄膜アプリケーション向け CIGS 材料蒸着で一般に使用される構成です。）
仕様
| センサー | ||
| 動作圧 | <5×10-4 Torr | |
| 温度 | 450℃ max、動作中およびベークアウト | |
| 寸法（概略値） | 3/4″×1 1/4″×1 3/4″（19×32×45 mm） | |
| フィラメント寿命（典型値） | 約 1000 時間 | |
| センサー – フィードスルー間のリンク | 非柔軟性SSチューブ、長さは~7″から 17″（~175〜430mm）の範囲で調節可能 | |
| フィードスルー/ フランジ | 2 3/4″ CF（NW35CF）上に光学系フィードスルー× 1、 電気系フィードスルー× 4 | |
| 検出器 | ||
| 光電子増倍管（PMT） | 浜松ホトニクス R7518、または相当品 | |
| スペクトル応答 | 185～730 nm | |
| 検出限界 | 光学入力パワーとして5fW 以上 | |
| PMT ゲイン | 103～107（検出器は個別に調節可能） | |
| 出力分解能 | 20ビット | |
| 光入力ポート | 組み込みフィルターホルダー：直径 1″（25 mm）、 厚さ 0.2″（5mm）までのフィルター装着可能 | |
| 寸法 | 2″ × 5.5″ × 2.75″（50 × 140 × 70 mm） 3方向の側面に取付け穴 （取付け用ブラケットをオプションとして提供） | |
| コントローラ | ||
| センサー | 782-900-031: 1 センサー駆動 782-900-051: 1 または 2 センサー駆動 | |
| 検出器 | 8 点の光学検出器チャンネル | |
| コントロール出力 | 8 点の蒸発源コントロール出力、0 ～ 10 VDC の範囲で プログラム設定可能 | |
| デジタル I/O | リレー出力× 12、論理入力× 12 | |
| 電力 | 100-240 VAC、50/60 Hz、150 W | |
| 寸法 | 19″×3.5″×12″（483×89×305 mm） | |
| 準拠規格 | CE | |
| ユーザー インターフェース | ソフトウェア | 設定用 Windows® プログラムがコントローラに標準添付されます |
| 表示 | 蒸着速度 | 全チャンネルの 4 桁数値表示（0.001 ～ 999.9 Å/s）、 および X-Y スクロール グラフ表示（スケール選択） |
| 厚み | 5 桁数字表示（レンジ選択）、000.01 ～ 999.99 KÅ | |
| コンピュータ | ユーザーにて ご用意ください | Windows®Vista/XP/2000 を搭載する PC、イーサネット または RS-232 インターフェイスが必要 |