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製品紹介

薄膜蒸着コントローラ IC6

製品情報

Thin Film Deposition Controller 光学/OLEDアプリケーション用
豊富な機能を搭載したIC6が最適な測定精度を実現します

光学アプリケーション用

IC6薄膜蒸着コントローラは、INFICONの薄膜コントローラの確かな性能と、蒸着プロセスで最大の成果を
得られるように設計されたユニークな機能との組み合わせを通じて、比類のない価値を提供します。

1/10秒ごとに0.00433Å/sという業界最先端のレート分解能を誇るINFICONのModeLock周波数測定システムを使用したIC6は、安定した高分解能での膜厚とレートの測定を可能にします。

高い分解能と信頼性を兼ね備え、レイヤ数200の50のプロセスに対応できるIC6の能力は、反射コーティング、バンドパスフィルタ、ARコーティングといった光学プロセスに活用できます。

IC6と同じ性能、品質、機能を兼ね備え、優れた再現性を実現できる水晶振動子コントローラは、
他には存在しません。

信頼性の高いプロセス制御

豊富な機能を備えたIC6は、簡単にお客様のシステムに統合して、完全なプロセス制御を実現できます。

IC6は、レートと膜厚の制御のために最大で6つのソースを同時に制御できます。最大で12のアナログ出力を、ソース制御やレート、または膜厚の記録用に割り当てることが可能です。

IC6のロジックおよび、プロセス制御機能には、プログラム可能な100のロジックステートメント、
20のカウンタおよび、20のタイマーがあります。

I/O機能としては最大で24のリレー出力、28のTTL入力および、14のTTL出力を備えています。
ロジックステートメントは外部の入力や出力と組み合わせて使用できるため、PLCやその他の追加機器なしでは実行できない機能も、IC6では実行することが可能になります。
個々のロジックステートメントには最大で5つの機能を埋め込み、ブールロジックを使用して結合させることができます。

プロセスレシピの柔軟性を高めるために、IC6はそれぞれ200のレイヤを持つ50のプロセスを処理できます。
また、プロセスを結合することで最大10,000のレイヤの蒸着が可能になります。

特長
  • INFICONのModeLock技術により、超低レートでも非常に安定した最大分解能でレートと膜厚を測定可能
  • 材料の蒸着時にAuto Z機能でZレシオを自動的に決定できるため、膜厚の精度が向上
  •  最大6つのソースからの同時蒸着が可能
  •  カラーTFT液晶ディスプレイでプロセスの進行状況をわかりやすく表示
  • 精度は100msのサンプリングあたり±0.0035Hz
  • USB方式のデータストレージ機能により、スクリーンショットやレシピの保存、データの記録が可能
  • (拡張可能な入力(28)と出力(24のリレー、14のTTL出力)を使用して)単純なシステムにも複雑な
    システムにも組み込め、かつロジック機能(100のロジックステートメント)を使用できる柔軟性を備えた
    パワフルなI/O
  • ソース制御および、レートや膜厚のモニタリング用の標準装備の6つのDAC出力にオプションで、
    さらに6つの出力を追加可能
  • それぞれ200のレイヤを持つ50のプロセスを処理でき、プロセスを結合することで最大10,000レイヤの
    蒸着が可能
  • 最大8つのセンサーに対するマルチセンサー平均処理
  • 4メートルのXIUオプションにより、大規模システム用の長い真空内センサーケーブルの使用が可能
  •  イーサネット通信(オプション)
  • RoHS指令に適合

OLEDアプリケーション用

IC6薄膜蒸着コントローラは、INFICONの薄膜コントローラの確かな性能と、蒸着プロセスで最大の成果を
得られるように設計されたユニークな機能との組み合わせを通じて、比類のない価値を提供します。

1/10秒ごとに0.00433Å/sという業界最先端のレート分解能を誇るINFICONのModeLock周波数測定システムを使用したIC6は、安定した高分解能での膜厚とレートの測定を可能にします。

IC6と同じ性能、品質、機能を兼ね備え、優れた再現性を実現できる水晶振動子コントローラは、
他には存在しません。

パワフルな性能

IC6は、最大で6つのソースを個別に、または任意の組み合わせで同時に制御できます。コントローラを2台も3台も使用する必要がないため、システムを簡素化し、コストも削減できます。

オプションのINFICON Crystal 12センサーは、プロセスを中断することなく、自動的に振動子を切り替えます。これにより、レートの連続モニタリングが可能になり、ツールのベントからベントまでの時間を延ばすことが
できます。

IC6は、ソースの制御、レートや膜厚のモニタリングおよび、記録用に、6つの標準出力と
6つの追加出力(オプション)を含め、割り当て可能な12のアナログ出力を備えています。
さらに、I/O機能については最大で24のリレー出力、28のTTL入力および、14のTTL出力の使用が可能です。
4メートルのXIUオプションを使用すれば、大型システム用の長い真空内センサーケーブルを使用できます。

安定した高分解能のレートと膜厚の測定および、極端な低レートのコントロールを可能にするために、
IC6は測定レート平均処理機能を搭載しています。
これは、低密度の材料を超低レートで蒸着するのに貴重な機能です(超低レートのOLEDドーパント物質の蒸着のための安定したソースへの使用は最大で30秒)。

特長
  • INFICONのModeLockテクノロジーにより、超低レートでも非常に安定した最大分解能でレートと
    膜厚を測定可能
  • 材料の蒸着時にAuto Z機能でZレシオを自動的に決定できるため、膜厚の精度が向上
  • 1台のIC6で最大6つのソースを個別に、または任意の組み合わせで同時に制御できるため、
    コントローラを2台も3台も使用する必要がない
  • カラーTFT液晶ディスプレイでプロセスの進行状況をわかりやすく表示
  • 測定周波数10 Hz
  • 精度は100 msのサンプリングあたり±0.0035 Hz
  • USB方式のデータストレージ機能により、スクリーンショットやレシピの保存、データの記録が可能
  • 複数のソースからの材料の膜厚を積算
  •  測定レート平均処理機能により、低密度材料の超低レート蒸着が可能(超低レートのOLEDドーパント物質の蒸着のための安定したソースへの使用は最大で30秒)
  • 表示分解能は最高0.001Å/s
  • 4メートルのXIUオプションにより、大規模システム用の長い真空内センサーケーブルの使用が可能
  • ノンデポジットレートコントロール機能により、サブストレートが蒸着チャンバー内をサイクル移動する間、ソース材料の蒸発レートを連続的にコントロール
  •  ソース制御および、レートや膜厚のモニタリング用の標準装備の6つのDAC出力にオプションで、
    さらに6つの出力を追加可能
  •  イーサネット通信(オプション)
  • RoHS指令に適合

この装置のAuto Z機能は、有機材料のZレシオを自動的に決定できるため、層状物質やドープ物質の蒸着時に膜厚とレートの精度を維持できます。
Auto Z機能を使用すると、2つ以上の材料を同時蒸着する場合や、2つ以上の材料を多層膜蒸着する場合に、Zレシオが未知のプロセスの精度を高めることが可能になります。

これらの機能によって、低レートでの低密度材料の測定やシステムコンピュータへの測定値のフィードバックが容易になり、プロセスを確実に制御することが可能になります。

仕様
測定性能
分解能(Å/s/M)*10.00433
振動子周波数の最大シフト1.5 MHz
振動子の範囲および精度
(100ms サンプリングあたり)
6.0~4.5 MHz ±0.0035 Hz
膜厚精度*20.5%
測定周波数10 Hz
反復測定平均化0.1、0.4、1.0、4.0、10.0、20.0、30.0秒の
平均処理が可能
設計上の特徴
複数センサーによる測定Yes(最大6つのセンサー)
Auto ZYes
AutoTuneYes
同時蒸着同時蒸着
Yes(最大で6つのソース)
プロセスレシピおよびデータの管理
材料プログラム数32
プロセスレイヤ数プロセスあたり200
プロセス数50(レイヤー数に依存)
USBメモリYes
データ記録Yes
ハードウェア機能
センサー*3
シングル6
デュアル/CrystalTwo®4/6(CrystalTwoスイッチで切り替え)
CrystalSix®6
Crystal 12®6
Generic6
ソースコントロール
ソース数 *4 最大6
ソースコントロール電圧0~±10 V(アジャスタブル)
出力分解能フルレンジ15ビット(0~10 V)
るつぼ位置64
入出力
入力標準14、最大28(オプション)
TTL/CMOSロジック対応またはGND接地
出力SPSTリレー x 8(標準)
最大でx 24(オプション)
定格30 VDCまたは30 VAC
RMSまたは42V Peak(2.5 amps)
TTL出力 x 14(オプション)
レコーダー出力*40~+10 V(調節可能)
ロジックステートメント完全にプログラム可能なステートメント x 100、
1つのステートメントに5つのアクションと5つのイベントを記述可能
通信機能
標準RS232
オプションイーサネット
ディスプレイ
膜厚分解能1 Å(0~9.999 kÅ)
10 Å(10.00~99.99 kÅ)
100 Å(100.0~999.9 Å)
1 kÅ(1000~9999 kÅ)
レート分解能0.001(0~9.999 Å/s)、
(レートフィルタの時間設定が10秒以上のとき)
0.01(0~99.99 Å/s)
0.1(100~999.9 Å/s)
動作
電源100~230 V(AC)±15%
50/60 Hz±3 Hz
動作温度0~50°C(32~122°F)
寸法(マウント部を除く)
(H x W x D)
5.25”x 19” x 13”(133 mm x 483 mm x 330 mm)
重量23 Ibs(10.5 kg)

*1. 材料密度= 1.0、Z レシオ = 1.0、振動子周波数 = 6 MHz、Å/s/M = オングストローム/秒/測定
*2. 精度はプロセスによって変わります。表の数値は典型精度を表しています。
*3. 各タイプの最大構成
*4. TIC6には標準で6の出力チャンネルがあり、オプションで出力を6つ追加できます。12の出力は、
いずれもソースソースコントロール電圧またはレコーダー出力用として設定できますが、同時にコントロール
できるソースの数は6つです。

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