薄膜蒸着コントローラ IC6
メーカー名：インフィコン株式会社
製品情報
Thin Film Deposition Controller 光学／OLEDアプリケーション用
豊富な機能を搭載したIC6が最適な測定精度を実現します
光学アプリケーション用
IC6薄膜蒸着コントローラは、INFICONの薄膜コントローラの確かな性能と、蒸着プロセスで最大の成果を
得られるように設計されたユニークな機能との組み合わせを通じて、比類のない価値を提供します。
1/10秒ごとに0.00433Å/sという業界最先端のレート分解能を誇るINFICONのModeLock周波数測定システムを使用したIC6は、安定した高分解能での膜厚とレートの測定を可能にします。
高い分解能と信頼性を兼ね備え、レイヤ数200の50のプロセスに対応できるIC6の能力は、反射コーティング、バンドパスフィルタ、ARコーティングといった光学プロセスに活用できます。
IC6と同じ性能、品質、機能を兼ね備え、優れた再現性を実現できる水晶振動子コントローラは、
他には存在しません。
■信頼性の高いプロセス制御
豊富な機能を備えたIC6は、簡単にお客様のシステムに統合して、完全なプロセス制御を実現できます。
IC6は、レートと膜厚の制御のために最大で6つのソースを同時に制御できます。最大で12のアナログ出力を、ソース制御やレート、または膜厚の記録用に割り当てることが可能です。
IC6のロジックおよび、プロセス制御機能には、プログラム可能な100のロジックステートメント、
20のカウンタおよび、20のタイマーがあります。
I/O機能としては最大で24のリレー出力、28のTTL入力および、14のTTL出力を備えています。
ロジックステートメントは外部の入力や出力と組み合わせて使用できるため、PLCやその他の追加機器なしでは実行できない機能も、IC6では実行することが可能になります。
個々のロジックステートメントには最大で5つの機能を埋め込み、ブールロジックを使用して結合させることができます。
プロセスレシピの柔軟性を高めるために、IC6はそれぞれ200のレイヤを持つ50のプロセスを処理できます。
また、プロセスを結合することで最大10,000のレイヤの蒸着が可能になります。
特長
- INFICONのModeLock技術により、超低レートでも非常に安定した最大分解能でレートと膜厚を測定可能
- 材料の蒸着時にAuto Z機能でZレシオを自動的に決定できるため、膜厚の精度が向上
- 最大6つのソースからの同時蒸着が可能
- カラーTFT液晶ディスプレイでプロセスの進行状況をわかりやすく表示
- 精度は100msのサンプリングあたり±0.0035Hz
- USB方式のデータストレージ機能により、スクリーンショットやレシピの保存、データの記録が可能
- （拡張可能な入力（28）と出力（24のリレー、14のTTL出力）を使用して）単純なシステムにも複雑な
システムにも組み込め、かつロジック機能（100のロジックステートメント）を使用できる柔軟性を備えた
パワフルなI/O - ソース制御および、レートや膜厚のモニタリング用の標準装備の6つのDAC出力にオプションで、
さらに6つの出力を追加可能 - それぞれ200のレイヤを持つ50のプロセスを処理でき、プロセスを結合することで最大10,000レイヤの
蒸着が可能 - 最大8つのセンサーに対するマルチセンサー平均処理
- 4メートルのXIUオプションにより、大規模システム用の長い真空内センサーケーブルの使用が可能
- イーサネット通信（オプション）
- RoHS指令に適合
OLEDアプリケーション用
IC6薄膜蒸着コントローラは、INFICONの薄膜コントローラの確かな性能と、蒸着プロセスで最大の成果を
得られるように設計されたユニークな機能との組み合わせを通じて、比類のない価値を提供します。
1/10秒ごとに0.00433Å/sという業界最先端のレート分解能を誇るINFICONのModeLock周波数測定システムを使用したIC6は、安定した高分解能での膜厚とレートの測定を可能にします。
IC6と同じ性能、品質、機能を兼ね備え、優れた再現性を実現できる水晶振動子コントローラは、
他には存在しません。
■パワフルな性能
IC6は、最大で6つのソースを個別に、または任意の組み合わせで同時に制御できます。コントローラを２台も３台も使用する必要がないため、システムを簡素化し、コストも削減できます。
オプションのINFICON Crystal 12センサーは、プロセスを中断することなく、自動的に振動子を切り替えます。これにより、レートの連続モニタリングが可能になり、ツールのベントからベントまでの時間を延ばすことが
できます。
IC6は、ソースの制御、レートや膜厚のモニタリングおよび、記録用に、6つの標準出力と
6つの追加出力（オプション）を含め、割り当て可能な12のアナログ出力を備えています。
さらに、I/O機能については最大で24のリレー出力、28のTTL入力および、14のTTL出力の使用が可能です。
4メートルのXIUオプションを使用すれば、大型システム用の長い真空内センサーケーブルを使用できます。
安定した高分解能のレートと膜厚の測定および、極端な低レートのコントロールを可能にするために、
IC6は測定レート平均処理機能を搭載しています。
これは、低密度の材料を超低レートで蒸着するのに貴重な機能です（超低レートのOLEDドーパント物質の蒸着のための安定したソースへの使用は最大で30秒）。
特長
- INFICONのModeLockテクノロジーにより、超低レートでも非常に安定した最大分解能でレートと
膜厚を測定可能 - 材料の蒸着時にAuto Z機能でZレシオを自動的に決定できるため、膜厚の精度が向上
- 1台のIC6で最大6つのソースを個別に、または任意の組み合わせで同時に制御できるため、
コントローラを２台も３台も使用する必要がない - カラーTFT液晶ディスプレイでプロセスの進行状況をわかりやすく表示
- 測定周波数10 Hz
- 精度は100 msのサンプリングあたり±0.0035 Hz
- USB方式のデータストレージ機能により、スクリーンショットやレシピの保存、データの記録が可能
- 複数のソースからの材料の膜厚を積算
- 測定レート平均処理機能により、低密度材料の超低レート蒸着が可能（超低レートのOLEDドーパント物質の蒸着のための安定したソースへの使用は最大で30秒）
- 表示分解能は最高0.001Å/s
- 4メートルのXIUオプションにより、大規模システム用の長い真空内センサーケーブルの使用が可能
- ノンデポジットレートコントロール機能により、サブストレートが蒸着チャンバー内をサイクル移動する間、ソース材料の蒸発レートを連続的にコントロール
- ソース制御および、レートや膜厚のモニタリング用の標準装備の6つのDAC出力にオプションで、
さらに6つの出力を追加可能 - イーサネット通信（オプション）
- RoHS指令に適合
この装置のAuto Z機能は、有機材料のZレシオを自動的に決定できるため、層状物質やドープ物質の蒸着時に膜厚とレートの精度を維持できます。
Auto Z機能を使用すると、2つ以上の材料を同時蒸着する場合や、2つ以上の材料を多層膜蒸着する場合に、Zレシオが未知のプロセスの精度を高めることが可能になります。
これらの機能によって、低レートでの低密度材料の測定やシステムコンピュータへの測定値のフィードバックが容易になり、プロセスを確実に制御することが可能になります。
仕様
| 測定性能 | |
| 分解能（Å/s/M）*1 | 0.00433 |
| 振動子周波数の最大シフト | 1.5 MHz |
| 振動子の範囲および精度 （100ms サンプリングあたり） | 6.0～4.5 MHz ±0.0035 Hz |
| 膜厚精度*2 | 0.5% |
| 測定周波数 | 10 Hz |
| 反復測定平均化 | 0.1、0.4、1.0、4.0、10.0、20.0、30.0秒の 平均処理が可能 |
| 設計上の特徴 | |
| 複数センサーによる測定 | Yes（最大6つのセンサー） |
| Auto Z | Yes |
| AutoTune | Yes |
| 同時蒸着 | 同時蒸着 Yes（最大で6つのソース） |
| プロセスレシピおよびデータの管理 | |
| 材料プログラム数 | 32 |
| プロセスレイヤ数 | プロセスあたり200 |
| プロセス数 | 50（レイヤー数に依存） |
| USBメモリ | Yes |
| データ記録 | Yes |
| ハードウェア機能 | |
| センサー*3 | |
| シングル | 6 |
| デュアル/CrystalTwo® | 4/6（CrystalTwoスイッチで切り替え） |
| CrystalSix® | 6 |
| Crystal 12® | 6 |
| Generic | 6 |
| ソースコントロール | |
| ソース数 *4 | 最大6 |
| ソースコントロール電圧 | 0～±10 V（アジャスタブル） |
| 出力分解能 | フルレンジ15ビット（0～10 V） |
| るつぼ位置 | 64 |
| 入出力 | |
| 入力 | 標準14、最大28（オプション） TTL/CMOSロジック対応またはGND接地 |
| 出力 | SPSTリレー x 8（標準） 最大でx 24（オプション） 定格30 VDCまたは30 VAC RMSまたは42V Peak（2.5 amps) TTL出力 x 14（オプション） |
| レコーダー出力*4 | 0～+10 V（調節可能） |
| ロジックステートメント | 完全にプログラム可能なステートメント x 100、 1つのステートメントに5つのアクションと5つのイベントを記述可能 |
| 通信機能 | |
| 標準 | RS232 |
| オプション | イーサネット |
| ディスプレイ | |
| 膜厚分解能 | 1 Å（0～9.999 kÅ） |
| 10 Å（10.00～99.99 kÅ） | |
| 100 Å（100.0～999.9 Å） | |
| 1 kÅ（1000～9999 kÅ） | |
| レート分解能 | 0.001（0～9.999 Å/s）、 （レートフィルタの時間設定が10秒以上のとき） |
| 0.01（0～99.99 Å/s） | |
| 0.1（100～999.9 Å/s） | |
| 動作 | |
| 電源 | 100～230 V（AC）±15% |
| 50/60 Hz±3 Hz | |
| 動作温度 | 0～50°C（32～122°F） |
| 寸法（マウント部を除く） （H x W x D） | 5.25”x 19” x 13”（133 mm x 483 mm x 330 mm） |
| 重量 | 23 Ibs（10.5 kg） |
*1. 材料密度= 1.0、Z レシオ = 1.0、振動子周波数 = 6 MHz、Å/s/M = オングストローム/秒/測定
*2. 精度はプロセスによって変わります。表の数値は典型精度を表しています。
*3. 各タイプの最大構成
*4. TIC6には標準で6の出力チャンネルがあり、オプションで出力を6つ追加できます。12の出力は、
いずれもソースソースコントロール電圧またはレコーダー出力用として設定できますが、同時にコントロール
できるソースの数は6つです。