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製品紹介

酸素プラズマソース

周期表・蒸着材料から選ぶ

Optical Emission Spectrum for UNI-Bulb Plasma Source with Oxygen. Atomic and excited molecular species are indicated. Data courtesy of Translucent Photonics Inc.

製品情報

特長
  • 一体型石英インレットチューブを使用しております。
  • ビーム中のイオンは僅かです。
  • 低圧力下で使用可能です。
  • 酸化ガリウム成膜用
対象材料
O2
仕様
MBE装置全ての研究用MBE装置に使用できます
供給ガスO2
最小取り付けフランジICF114 (4.5インチ)
真空内長さ318mm (12.5インチ)
真空内径54mm
供給ガス接続口ICF34 (1.33インチ) 2ヶ所
プラズマバルブアパーチャープレート付き高純度石英プラズマ放電容器
アパーチャープレート固定型アパーチャープレート
加熱誘導連結式
水冷RFコイル・パワーフィードスルー350mL/min (40psi)
イオンディフレクタプレートオプション
電源600W RF(13.56MHz)、7mケーブル
オートチューナー
(オプション)
ユニット203W × 102H × 305D
コントローラ 241W × 88H × 331D

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