酸素プラズマソース
メーカー名：Veeco Instruments Inc.
製品情報
特長
- 一体型石英インレットチューブを使用しております。
- ビーム中のイオンは僅かです。
- 低圧力下で使用可能です。
- 酸化ガリウム成膜用
対象材料
| O2 |
仕様
| MBE装置 | 全ての研究用MBE装置に使用できます | |
| 供給ガス | O2 | |
| 最小取り付けフランジ | ICF114 (4.5インチ) | |
| 真空内長さ | 318mm (12.5インチ) | |
| 真空内径 | 54mm | |
| 供給ガス接続口 | ICF34 (1.33インチ) 2ヶ所 | |
| プラズマバルブ | アパーチャープレート付き高純度石英プラズマ放電容器 | |
| アパーチャープレート | 固定型アパーチャープレート （お客様のチャンバー仕様に合わせてカスタム設計） | |
| 加熱 | 誘導連結式 | |
| 水冷 | RFコイル・パワーフィードスルー350mL/min (40psi) | |
| イオンディフレクタプレート | オプション | |
| 電源 | 600W RF(13.56MHz)、7mケーブル | |
| オートチューナー （オプション） | ユニット | 203W × 102H × 305D |
| コントローラ | 241W × 88H × 331D | |