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製品紹介

バルブドクラッカーセルSb

周期表・蒸着材料から選ぶ

製品情報

特長
  • Sb等反応性高蒸気圧材料に多くの実績があります。
対象材料
SbTeCdCdTeMgZn
仕様
200cc2000cc
最大充填量245cc (垂直時)2474cc (垂直時)
最小フランジ
サイズ
標準ICF114
ICF152
ICF152
ICF152
水冷ICF152
真空内長(フランジ端面から)最小:216mm 最大:343mm289mm
真空内径標準56mmお問い合せください
水冷69mmお問い合せください
ルツボサイズ/内寸法径:φ48m 高さ:140mm径:φ125mm 高さ:224mm
最大充填時の径25mm19mm
操作温度バルク部200℃~600℃200℃~600℃
コンダクタンス部600℃~1200℃300℃~700℃
クラッキング部600℃~1200℃600℃~1200℃
最大脱ガス温度バルク部800℃800℃
コンダクタンス部1300℃800℃
クラッキング部1500℃1400℃
水冷機構蒸発部は標準、 クラッキング部のクーリングコイル又は
ジャケットはオプション
バルブ動作自動バルブポジショナー推奨、または手動マイクロメータ
バルブレスポンスタイム全開から全閉まで5秒以下 (自動バルブポジショナー使用時)
電源電源と温度コントローラ各3台のユニットが必要

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