バルブドクラッカーセルAs
メーカー名：Veeco Instruments Inc.
製品情報
特長
- シャワーノズルの仕様でMarkⅣに比べて使用時間が約4倍になりました。
- 固体ソースの安全性とガスソースの利便性があります。
- 全世界に800台以上の納入実績が有ります。
対象材料
| As |
仕様
| 500cc | 2000cc | ||
| 最大充填量 (密度の50%を基準) | 1.4kg | 5.7kg | |
| 最小フランジサイズ | 標準 | ICF70 ICF114 | ICF114 ICF152 |
| 水冷 | ICF114 | ICF152 | |
| 真空内長 | 最小267mm, 最大394mm | 284mm | |
| 真空内径 | 標準 | 36mm 56mm | 61mm 92mm |
| 水冷 | 56mm | 92mm | |
| 材料充填口径 | 65mm | 116mm | |
| ルツボサイズ / 内寸法 | 径：φ65mm, 高さ：137mm | 径：φ116mm, 高さ：181mm | |
| 操作温度 | バルク部 | 350～450℃ 600～1000℃ | |
| クラッキング部 | 600～1000℃ | ||
| 最大脱ガス温度 | バルブ部 | 650℃ 1600℃ | 650℃ 1400℃ |
| クラッキング部 | 1600℃ | 1400℃ | |
| 水冷機構 | 蒸発部は標準、 クラッキング部のクーリングコイルかジャケットはオプション | ||
| バルブ動作 | 自動バルブポジショナー推奨、または手動マイクロメータ | ||
| バルブレスポンスタイム | 全開から全閉まで3秒以下 (自動バルブポジショナー使用時) | ||
| 電源 | 電源と温度コントローラ各2台のユニットが必要 | ||