Products

製品紹介

バルブドクラッカーセルAs

周期表・蒸着材料から選ぶ

製品情報

特長
  • シャワーノズルの仕様でMarkⅣに比べて使用時間が約4倍になりました。
  • 固体ソースの安全性とガスソースの利便性があります。
  • 全世界に800台以上の納入実績が有ります。
対象材料
As
仕様
500cc2000cc
最大充填量 (密度の50%を基準)1.4kg5.7kg
最小フランジサイズ 標準ICF70
ICF114
ICF114
ICF152
水冷ICF114ICF152
真空内長最小267mm, 最大394mm284mm
真空内径標準36mm
56mm
61mm
92mm
水冷56mm92mm
材料充填口径65mm116mm
ルツボサイズ / 内寸法径:φ65mm, 高さ:137mm径:φ116mm, 高さ:181mm
操作温度バルク部350~450℃
600~1000℃
クラッキング部600~1000℃
最大脱ガス温度バルブ部650℃
1600℃
650℃
1400℃
クラッキング部1600℃1400℃
水冷機構蒸発部は標準、
クラッキング部のクーリングコイルかジャケットはオプション
バルブ動作自動バルブポジショナー推奨、または手動マイクロメータ
バルブレスポンスタイム全開から全閉まで3秒以下 (自動バルブポジショナー使用時)
電源電源と温度コントローラ各2台のユニットが必要

PAGETOP