ドーパントセル
メーカー名:Veeco Instruments Inc.
製品情報
特長
- 最小のオーバーシュートにより高速安定化を実現しております。
- 高い再現性と信頼性があります。
対象材料
Bi | Sn | SnTe | Si |
仕様
容量 | 5cc | 12cc |
MBE装置 | 全ての研究用・生産用装置に使用可能 | |
ドーパント材料 | Si、Be、その他低温から中温の蒸気圧材料 | |
ルツボの形状 | ||
フィラメントタイプ | シングルTaワイヤー | |
取付フランジ | 最小ICF70 | |
熱電対 | Type C(W/Re5/26%) | |
最小:203mm、最大:381mm | ||
真空内直径 (標準) | 30mm | 36mm |
真空内直径 (水冷) | 56mm | 56mm |
操作温度 | 750~1350℃(低温の場合:100~750℃) | |
最高脱ガス温度 | 1600℃(低温の場合:1000℃) | |
水冷機構 | オプション | |
電力 | 15A/750W | |
電源 | 電源と温度コントローラ各1台のユニットが必要 |
※1.5ccデュアルドーパントセルもございます。