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製品紹介

ドーパントセル

周期表・蒸着材料から選ぶ

製品情報

特長
  • 最小のオーバーシュートにより高速安定化を実現しております。
  • 高い再現性と信頼性があります。
対象材料
BiSnSnTeSi
仕様
容量5cc12cc
MBE装置全ての研究用・生産用装置に使用可能
ドーパント材料Si、Be、その他低温から中温の蒸気圧材料
ルツボの形状
フィラメントタイプシングルTaワイヤー
取付フランジ最小ICF70
熱電対Type C(W/Re5/26%)
最小:203mm、最大:381mm
真空内直径 (標準)30mm36mm
真空内直径 (水冷)56mm56mm
操作温度750~1350℃(低温の場合:100~750℃)
最高脱ガス温度1600℃(低温の場合:1000℃)
水冷機構オプション
電力15A/750W
電源電源と温度コントローラ各1台のユニットが必要

※1.5ccデュアルドーパントセルもございます。

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