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製品紹介

低温ガスソース

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製品情報

特長
  • NH3はN成長用、CBr4はⅢ-V族化合物のCドーピング用です。
対象材料
NH3CBr4
仕様
MBE装置全ての研究用・生産用装置に使用可能
供給ガスNH3、CBr4、高蒸気圧有機ガス
最小取付フランジICF70
真空内長さ318mmと517mm
真空内の直径25.4mm
熱電対Type K(クロメル/アルメル)
加熱方法外部バンドヒーター
供給ガス接続口標準:4VCR  オプション:ICF34
操作温度30~200℃
最高脱ガス温度200℃
電源電源と温度コントローラ各1台のユニットが必要

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