低温ガスソース
メーカー名：Veeco Instruments Inc.
製品情報
特長
- NH3はN成長用、CBr4はⅢ-V族化合物のCドーピング用です。
対象材料
| NH3 | CBr4 |
仕様
| MBE装置 | 全ての研究用・生産用装置に使用可能 |
| 供給ガス | NH3、CBr4、高蒸気圧有機ガス |
| 最小取付フランジ | ICF70 |
| 真空内長さ | 318ｍｍと517ｍｍ |
| 真空内の直径 | 25.4ｍｍ |
| 熱電対 | Type K(クロメル/アルメル) |
| 加熱方法 | 外部バンドヒーター |
| 供給ガス接続口 | 標準：4VCR オプション：ICF34 |
| 操作温度 | 30～200℃ |
| 最高脱ガス温度 | 200℃ |
| 電源 | 電源と温度コントローラ各1台のユニットが必要 |