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製品紹介

高温セル

メーカー名:Veeco Instruments Inc.

周期表・蒸着材料から選ぶ

製品情報

特長
  • 耐酸化構造により、操作温度MAX2000℃を実現しました。
  • Fe, Co, Ni等磁性材料に最適です。
  • 使用する材料により、ルツボとライナーの材質を変更することが出来ます。
  • お客様にてフィラメントの交換ができます。

(注)ルツボの他にライナーが必要になります。
 ルツボの種類:PBN、PG、AI2O3、BeO、Ta
 ライナーの種類:AI2O3、PG、BeO、ZrO2

対象材料
AgAuBBaF2
CaF2CoCrCu
GeScY
仕様
6cc10cc24cc
ルツボ形状
ルツボ寸法リップ径12mm12mm29mm
インナー長46mm77mm76mm
テーパー角度
充填材料低蒸気圧で蒸発及び昇華温度が1300~2000℃の材料を推奨。
セルの操作温度は蒸発材料とルツボの反応を防ぐため
2000℃以下になります。
ご用途をお知らせください。
マウントフランジ標準ICF70ICF114
水冷ICF114
セル長(真空内)229~356mm標準 343mm
ニップルを用いて真空内長を調整
真空内径標準38mm51mm
水冷56mm69mm
フィラメントタイプWワイヤー (交換可能)
熱電対タイプ1箇所、タイプC (W/Re 5/26%)、非接触
操作温度1300~2000℃
最大脱ガス温度2000℃
水冷機構VG仕様は標準、その他はオプション
電源電源と温度コントローラ各1台のユニットが必要

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