超高真空L型ポリイミドバルブ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
本バルブは、10-8Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。
真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少いポリイミド樹脂を使用しております。150℃以上のベーキングを伴なう超高真空装置用バルブとして適しています。
特長
- すぐれた許容加熱性
ポリイミド・シールは開閉いずれの場合でも室温から最高300℃までの繰り返しベーキングに対応 - ガス放出の少いシール材
ポリイミド樹脂のガス放出は、ふっ素ゴム（バイトン）と比較すると少いので10-8Pa程度の超高真空を容易に達成 - 小さな締付けトルク
ポリイミド・シールの締付けトルクはメタルシールほど大きなトルクは不要
仕様
| 型 名 | 951-7145 | 951-7120 |
| 使用真空領域 | 大気圧～10-8Pa程度 | |
| 許容加熱温度*1,2 | 300℃ | |
| シール材(ガスケット) | ポリイミド樹脂 | ポリイミド樹脂*4 |
| 推奨締付シール力 (参考締付トルク*5) | 1225N～1921N (2～3.4N・m) | 3920N～4900N (4.9～5.9N・m) |
| 最大締付シール力 (参考締付トルク*5) | 2626N (5.9N・m) | 7840N (14.7N・m) |
| 操作 | 手動 | ベーキングを数回行った場合 カニメスパナを使用 |
| コンダクタンス | 1L/sec | 30L/sec |
| リーク量*3 | 6.7×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 使用材料 | 本体：SUS-304 ベローズ：SUS-304L ハンドル：AL合金(黒色アルマイト) | |
| 接続フランジ | φ34ICFフランジ | φ70ICFフランジ |
| 質量 | 0.41kg | 1.6kg |
| 添付品 | — | カニメスパナ、六角棒スパナ |
*1）バルブ内部を真空またはArガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です。
*2）連続加熱を行う場合は260℃となります。
*3）ポリイミド樹脂のガス透過は仕様外。
*4）ボンネットシール部のメタルシール（SUS321銀メッキ“O”リング）化もご相談に応じます。
*5）締付トルクはベーキング等により駆動ネジの摩擦係数が増加し、締付トルクと締付シール力の関係が変化しますので参考値です。