中空Zステージ ALM-4
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品情報
各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
- 中空型：内径Φ70㎜
- ハンドル操作が軽く、操作性が良いスタンダードモデル
- ロングストローク、モーター駆動にも対応可能
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 | ネジ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
仕様
| 型式 | Z軸移動距離(㎜) Z軸移動精度(㎜) | A接続フランジ B移動フランジ | C (㎜) | D (㎜) | 重量 (Kg) |
| ALM-4/50 | 50 1 | ICF114-FH ICF114-FT | 150~200 | 222 | 10 |
| ALM-4/100 | 100 1 | 160~260 | 282 | 12 | |
| ALM-4/150 | 150 1 | 185~335 | 357 | 14 | |
| ALM-4/200 | 200 1 | 220~420 | 442 | 16 | |
| ALM-4/300 | 300 1 | 227~527 | 549 | 18 | |
| ALM-4/400 | 400 1 | 245~645 | 667 | 22 | |
| ALM-4/500 | 500 1 | 300~800 | 822 | 25 |