Vシリーズ 粗引きバルブ V-025RV
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
本バルブは、10-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム（バイトン）Oリングを使用したバルブです。高真空装置用バルブとして、また超高真空装置のあら引きバルブとして最適です。
特長
- 高真空領域まで使用可能
10-4Pa程度の高真空領域までご使用可能（軸シール部のみ、ふっ素グリースを使用） - 開閉ポジションセンサスイッチ
圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用のポジションセンサスイッチを装備
仕様
| 駆動方式 | 圧空 | 手動 | |
| 型名 | V-025RV-CN | V-025RV-MN | |
| 使用圧力領域 | 大気圧～10-4Pa 程度 | ||
| Heリーク量*1 | 静止時 | 6.7×10-11Pa・m3/sec | |
| 開閉時 | ～10-5Pa・m3/sec | ||
| コンダクタンス | 7L/sec | ||
| 許容加熱温度 | 60℃ | ||
| 主要部材質 | 本体 | SUS-304 | |
| 駆動部 | AL合金(エアーシリンダ) | ナイロン66、 ポリプロピレン(ハンドル) | |
| 真空シール材 | フッ素ゴムOリング（メインシール部,軸シール部,ボンネットシール部） | ||
| 軸シール部潤滑剤：パーフロロポリエーテルグリース | |||
| 作動エアー圧 | 0.4～0.6 MPa | — | |
| エアー消費量 （L/サイクル）*2 | 0.024 | — | |
| エアー供給口 | M5 | — | |
| 開閉センサ | ■センサスイッチ仕様参照 | — | |
| 使用流体 | 大気又はガス (腐食性ガスを除く) | ||
| 質量 | 0.63kg | 0.58kg | |
| 接続フランジ*3 | NW25フランジ | ||
*1）フッ素ゴム（バイトン）Oリングのガス透過は仕様外。
*2）エアー圧0.5MPa時1サイクル（開閉）でのエアー消費量です。
*3）NW25フランジはエラストマーガスケット（主にフッ素ゴム）を使用する真空装置用クランプフランジです。詳細についてはお問合せください。