超高真空バリアブルリークバルブ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
本バリアブルリークバルブは、導入ガス流量の調節を必要とする真空装置に使用するもので、調節可能最少リーク量が6.7×10-9Pa・m3/sec以下ときわめて微少流量領域からのガス導入が可能です。
また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、超高真空装置用に適しています。
特長
- 熱と外部衝撃に強いシール部
シール部はWC系超硬合金と銅合金を組み合わせてシールしておりますのでサファイアと銅合金を組み合わせてシールするのと異なり、熱的・機械的影響から生じる割れはありません - 微少ガス流量を安定調節
調節可能最少リーク量が6.7×10-9Pa・m3/sec以下（Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2MPa時）と、きわめて微少ガス流量の導入が可能 - 優れた許容加熱性
全金属製で450℃までのベーキングが可能 - 広範囲ガス流量の調節が可能
- 超高真空接続可能
用途
- 導入ガス流量の調節を必要とする真空装置
- スパッタ装置、ガス分析装置
- 物理学実験・研究用装置等
仕様
| 使用真空領域 | 大気圧～10-8Pa程度 | |
| 調節可能最小リーク量*1 | 6.7×10-9Pa・m3/sec以下 | |
| バルブ全閉時リーク量 | 6.7×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 許容加熱温度*2 | 450℃ (開閉いずれも可) | |
| ガスケットの寿命 | 約300回シール (室温使用時) 約30回シール (ベーキングを伴う場合) (ガスケット交換可能) | |
| 構成部品材料 | 本体：SUS-304 シール部：WC系超硬合金 ガスケット：Cu合金 | |
| 接続フランジ | ガスOUTLET側 | φ70ICF 固定フランジ |
| ガスINLET側 | φ8×φ6SUS-304管 (951-7170) | |
| φ34ICF 固定フランジ付 (951-7172) | ||
| 添付品 | 951-9160 ガスケット 2個 951-9160 リング 2個 951-9160 スパナ 1本 呼び5六角棒スパナ 1本 呼び8六角棒スパナ 1本 | |
| 質量 | 1.3kg | |
*1）圧力0.2MPaのHeガスをガス導入側に接続しφ70ICF側を真空に排気している状態での値です。
*2）ガス導入側およびφ70ICF側を真空またはArガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です。