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製品紹介

ヘリウムリークディテクタ　Portable HELEN

メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社

シリーズ

製品情報

概要

HELENシリーズは、小型・計量・可搬性をコンセプトに開発されたポータブルタイプのヘリウムリークディテクタです。

■排気フロー
ミドルフローとカウンターフローの使い分け
ミドルフロー方式は、高感度測定に適しています。カウンターフロー方式は、試験体の圧力が1000Paまで測定出来るため、大きなリークや測定時間の短縮化に適しています。
高感度測定が可能なダイレクトフロータイプもご用意しています。

■磁場偏向型質量分析管
磁場偏向型質量分析管は、荷電粒子の運動が磁場中でローレンツカを受けて円軌道を描くこと、またその円軌道が粒子の質量と荷電とによって異なることを利用しています。
偏向角度を180度にし、到達してきたヘリウムイオンをマイクロチャンネルプレート(MCP)で増幅することにより、非常に分解能を上げることに成功しました。
HELENシリーズは、このMCPを使用する事を特長としています。
一般に加速電圧(V)、磁場強度B(GAUSS)、円軌道の半径r(cm)と質量電荷比M/zの間にはM/z=4.826×10-5×B2r2/Vの関係が成り立ちます。

HELENの構造

特長
  • イージーオペレーション
    ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが行えます。
  • 業界最高レベルの感度、安定性、応答性を実現
    10-12Pa・m3/sの高感度と長時間の使用に対しても高い安定性を実現しました。
  • イージー・キャリー
    大型キャスタ、ハンドル等フィールドサービスを目的とした利用にも対応可能です。
  • 耐久性を重視した堅牢設計
    長期間、高感度の測定が行えます。
    24時間稼働システムへの搭載を前提に設計しています。
仕様
■標準タイプ
型名M-212LDM-212LD-DM-222LDM-222LD-DM-232LD
バージョンコンパクトコンパクト
ドライ		ハイパワーハイパワードライスニファー
定量測定範囲
(Pa・m3/sec)		10-12～10-310-6～10-1
（10-2～105ppm)
インレットポート
排気速度
(対He、L/sec)		Gross
Mode		0.5–1.82.0プローブ吸引速度
0.3Pa・m3/sec
Middle
Mode		2.01.0(Middle2)
4.0(Middle1)		2.02.0
Fine
Mode		–7.0––
インレットポート形状NW25（ISO）スニファー
プローブ
メインポンプ種類ターボ分子ポンプ
排気速度50L/sec70L/sec50L/sec
粗引きポンプ種類油回転ポンプダイヤフラム
ポンプ		油回転ポンプスクロール
ドライポンプ		油回転ポンプ
排気速度30L/min15L/min236L/min250L/min30L/min
＋ダイヤラムポンプ
外部インターフェイスRS-232C
Analog出力（2点）・標準 I/O
表示器4.1インチカラー液晶
スニファープローブオプション(型名：981-9370)オプション
（別途相談）		オプション
（型名：981-9371）		標準
所要電力AC 100-120V 8AAC 100-120V　6.3AAC 100V　15A
AC 100-120V 15A
AC 200-240V 10A		AC 100-120V 8A
外形寸法
（W×H×D)
（mm）		435×487×364462×867×715435×470×363
質量（kg）42397542
■高感度タイプ・大容量粗引きタイプ
型名M-222LD-HM-222LD-D-HM-222LD-D-H500
バージョン高感度ハイパワー高感度ハイパワードライハイパワードライ500
定量測定範囲
(Pa･m3/sec)		10-13～10-310-12～10-3
インレットポート
排気速度
（対He、L/sec）		Gross
Mode		1.82.02.0
Middle
Mode		4.04.04.0
Fine
Mode		7.07.07.0
インレットポート形状NW25(ISO)
メインポンプ種類ターボ分子ポンプ
排気速度(L/sec)70
粗引きポンプ種類油回転ポンプスクロール
ドライポンプ		マルチルーツ
ドライポンプ
排気速度(L/sec)236250500
外部インターフェイスRS-232C
Analog出力（2点）・標準 I/O
表示器4.1インチカラー液晶
スニファープローブオプション
（型名：981-9371）		–
所要電力AC 100V 15AAC 100-120V 15A
AC 200-240V 10A		AC 100-120V 8A
外形寸法
（W×H×D）（mm）		462×867×715
質量（kg）75

M-212LD（-D）

  • 各種真空装置の検査 、フィールドサービスに最適
  • 小型の各種真空部品のリークテスト

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M-222LD

  • 各種真空装置の保守保全
  • 加速器等の大型の各種真空容器のリークテスト
  • リークシステムのアナライザ

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M-222LD-D

  • クリーンルーム対応
  • オイルフリーリークテストが可能
  • 各種真空装置の保守保全

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M-232LD

  • ガス供給システム、真空部品、配管部品のリークテスト
  • 自動車部品、空調冷凍機のリークテスト
  • 食品、医療品のパッケージのリークテスト
  • 水道、各種ガス配管のリークテスト

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