ドライ真空ポンプ SDL Series
メーカー名：樫山工業株式会社
製品情報
特長
- ウエハー、FPDの大口径化にしっかり対応
組合せにより大排気量化が可能。15万 L/min以上のご要望にもお応えします。 - 高速排気によるタクトタイムの短縮
大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの高速排気でタクトタイムを短縮
仕様
| 仕様/型式 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36E60 | SDL3600 |
| 最大排気速度[L/min]*1 | 25,000 | 40,000 | 60,000 | 60,000 |
| ドライポンプ最大排気速度[L/min] | 8,000 | 8,000 | 10,000 | 10,000 |
| 到達圧力[Pa]*1 | 0.8 | |||
| 電源電圧(50/60Hz) | 3相 AC200-220V, 380-480V | |||
| 外観寸法[min] L×W×H | 1020×520×1050 | 1370×850×1295 | 1370×600×1295 | |
| 質量[kg] | 645 | 800 | 920 | 950 |
*1）N2パージ未使用時の値です。
※海外規格対応についてはお問合せください。
また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。
※溶剤排気仕様もありますのでお問合せください。