イオンゲージ M-311HG
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。センサーは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。
特長
- ワイドな圧力測定範囲
10-7Pa〜10Paまで超高真空側の特性を犠牲にすることなく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能 - 高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能 - 4つのエミッション電流設定モード
高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能
用途
- 生産用真空装置の圧力測定
- 半導体スパッタリング装置の圧力測定
- 各種真空装置
仕様
| 型名 | イオンゲージ |
| M-311HG-SP | |
| 圧力測定範囲 (Pa) | 1 × 10-7～10Pa |
| 入力電圧 | DC20～28V |
| 消費電力 | 12W |
| アナログ出力 | 0 ～ 10V |
| セットポイント | 2点リレー出力 |
| インターフェイス | – |
| 入出力コネクタ | Dsub-9（Male） |
| 最大ケーブル長 | 200m (1mm2) |
| 使用温度範囲 | 5 ～ 50℃ |
| 保存温度範囲 | -20 ～ 70℃ |
| センサー型名 | ミニチュアB-Aゲージ（MG-2Iシリーズ） |
| センサー材質(主要部) | フィラメント：Y2O3/Ir, ケース：SUS304 |
| 外形寸法(㎜) | 110×70×50 |
| フランジ形状 | NW16, NW25, φ34ICF, φ70ICF |
| 対応 | CEマーキング, RoHS, IP40 |