ミニチュアゲージ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
ミニチュアゲージは金属製の小型ゲージ球です。到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力（1Pa台が測定可）までの圧力計測が1つのゲージで行なえます。
仕様
| 型式 | MG-2 | MG-2M | MG-2I/NW16,25 | |
| ボディー材質 | SUS304 | |||
| 測定上限圧力*1 | 13Pa | |||
| 測定下限圧力*2 | 10-6Pa台 | |||
| 感度 | 0.045Pa-1 | |||
| フィラメント | フィラメント2本内蔵 フィラメント材：イットリアコートイリジウム線 | |||
| 測定球容積 | 約12cc | |||
| 所要 電力 | フィラメント グリッドデガス | 2.3W 1.0W | ||
| デガス方式 | グリッド通電 | |||
| 取り付け方法 | φ15ゲージアダプタまたは 各種フランジに溶接可 | φ18ゲージアダプタ | NW25、NW16 | |
| 型式 | MG-2I/ φ34ICF,φ70ICF | MG-2F | MG-2WF | |
| ボディー材質 | SUS304 | |||
| 測定上限圧力*1 | 13Pa | 1.3×10-1*3Pa | ||
| 測定下限圧力*2 | 10-7Pa台 | 1.0×10-5*4Pa台 | ||
| 感度 | 0.045Pa-1 | |||
| フィラメント | フィラメント2本内蔵 フィラメント材：イットリアコートイリジウム線 | フィラメント2本内蔵 フィラメント材：タングステン | ||
| 測定球容積 | 約12cc | |||
| 所要 電力 | フィラメント グリッドデガス | 2.3W 1.0W | 2.5W 1.0W | |
| デガス方式 | グリッド通電 | |||
| 取り付け方法 | φ34ICF、φ70ICF | φ70ICFフランジに接続 | φ15ゲージアダプタまたは 各種フランジに溶接可 | |
*1）リニアリティーの限界
*2）実用的に測定できる圧力の限界です。10-7Paの測定にはMG-2Fの使用を推奨いたします。
*3）但し、窒素やアルゴンガスのような不活性ガスでは13Paまで測定可能です。
*4）MG-2WFは、標準MG-2と比べ測定下限値が1桁高い値となります。