非接触3次元白色光干渉型光学顕微鏡 ContourX-500
メーカー名：ブルカージャパン株式会社, ナノ表面計測事業部製品
製品情報
概要
ContourX-500 Optical Profilometerは、世界で最も包括的な自動化ベンチトップシステムで、高速で非接触の3次元表面形状測定を実現します。
ブルカー独自のチップ/チルト式光学ヘッドを搭載したこのシステムは、トラッキングエラーを最小限に抑えながら、様々な角度から表面形状を測定するための完全なプログラムが可能です。
ゲージを搭載したContourX-500は、高いZ軸分解能と精度を誇り、ブルカーの白色光干渉法(WLI)フロアスタンド型モデルで認められたすべての利点を、省スペースでコンパクトな設置面積で提供します。
特長
比類なき3D計測のための最先端のベンチトップ設計
- 倍率に依存しない業界最高のZ解像度
- エンコードされたXYステージ、オートディップ/チルトヘッド、オートインテンシティで構成された高度な自動化
- スペース効率に優れたフットプリントで等号されたエアアイソレーション
優れた測定と分析
- 容易な操作画面で迅速・正確な結果を取得
- 測定-分析のルーティンをカスタマイズするための幅広い自動化機能
- フィルターと分析オプションの最も豊富なライブラリ
- ISO 25178、ASME B46.1、ISO 4287などの業界標準に合わせてカスタマイズされた分析レポート
仕様
| スキャン範囲 | ≦10㎜ |
| 垂直分解能1 | ＜0.01nm |
| 横分解能 | 0.38μm min(スパロー基準)； 0.13μm(with AcuityXR®) |
| 段差測定精度2 | ＜0.75％段差 |
| 段差再現性 | ＜0.1％ 1/σ repeatabillity |
| 最大スキャン速度 | 37μm/sec(標準カメラ使用時) |
| 反射率範囲 | 0.05％ to 100% |
| サンプル傾斜限界 | ≦40°(光沢のある表面)； ≦87°(粗い表面) |
| サンプル高さ | ≦100㎜ (4 in.) |
| XYサンプルステージ | 150㎜ (6 in.) 自動操作 エンコーダー操作 |
| Zフォーカシング | 100㎜ (4 in.) 自動操作 |
| 傾斜調整機能 | ±6°(4 in.) 自動操作 ヘッドチルト構造 |
| 光学計測モジュール | 特許取得済みのデュアルカラーLED照明 単一対物レンズアダプタ 自動(オプション)または手動タレットハウジング 電動(オプション)または手動ディスクリートモジュール |
| 対物レンズパフォーカル | 標準型：2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 115X 長作動型：1X, 1.5X, 2X, 5X, 10X； 環境制御型TTM：2X, 5X, 10X, 20X； 明視野型：2.5X, w5X, 10X, 50X |
| 光学ズームレンズ | 0.55, 0.75X, 1X, 1.5X, 2X |
| カメラ | 白黒（標準）5MP カラー（オプション）5MP(1200×1000Pixel) |
| ソフトウェアシステム | Vision 64およびVision Xpress 解析ソフトウェア(Windows 10 OS) |
| ソフトウェアパッケージ | USI; Advanced PSI; Production Mode; VisionMAP; AcuityXR®; 光学解析；SureVision; Film; MATLAB; SDK, TCP/IP |
| 自動機能 | 光量・焦点合わせ、解析データ保存、データベース記録 |
| 装置校正 | Via NIST/PTBに準拠 |
| 設置面積 | 480㎜(W)×604㎜(D)×700㎜(H) |
| 装置重量 | 70kg |
1）SiCリファレンスミラー上30回連続測定時の再現性測定 Sq/σ値。PSI Mode
2）基準段差 8μm以上の絶対精度値