センサー
メーカー名：インフィコン株式会社
製品情報
インフィコンが提供するセンサー、フィードスルー、水晶振動子はいずれも品質と耐久性を兼ね備え、半田付けを使用せずに機械的に組立られていますから、部品を現場で必要に応じて簡単に交換する事ができます。
仕様
| 製品名 | 最高 ベークアウト 温度 | 寸法（最大エンベロープ） | 水流路、同軸長 | 本体、ホルダー |
| crystal 12 Sensor | 130℃ | 直径5.12″×高さ3.46″ （12.1cm×8.8cm） 取付けポスト （オプションを含む） | 水配管30″（76.2cm） 空気配管29.5″（74.9cm） 同軸ケーブル長は発注時の指定による | 304 SS （プレート、ホルダ、材料シールド） |
| crystalSix センサー | 130℃ | 直径3.5″×高さ2.0″ （8.9cm×5.1cm） | 30″（76cm） | 304 SS （プレート、ホルダ、材料シールド） |
| シャッター アセンブリ | 400℃ | センサータイプにより 異なります | N/A | 300-シリーズSS |
| デュアル センサー | 130℃ | 1.45”×3.45″×高さ1.70″ （3.7cm×88cm×43cm） | 30″（76cm） | 304 SS |
| UHVベーキング 対応センサー | 450℃ | 1.35″×1.38″×高さ0.94″ （34cm×3.5cm×2.4cm） | 30″（76cm）、 20″（50.8cm）、 または12″（30.5cm） | 304 SS |
| コンパクト センサー | 130℃ | 11″×1.06″×高さ1.06″ （2.8cm×2.7cm×2.7cm） | 30″（76cm） | 304 SS |
| スパッタリング センサー | 105℃ | 直径1.36″×高さ0.47” （3.45cm×1.18cm） | 30″（76cm） | 金メッキBeCu |
| 標準センサー オンラインショップはこちら | 130℃ | 直径1.063″×2.24″×高さ0.69” （2.7cm×5.7cm×1.75cm） | 30″（76cm） | 304 SS |