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製品紹介

膜厚・蒸着レートモニター STM-2XM

製品情報

特徴

STM-2XMは精度と柔軟なプログラミング、および容易な操作を組み合わせた低価格の2チャネルのレート/膜厚モニターです

STM-2XMはシンプルなプロセスから複雑なプロセスに対応する5つの操作モードを備えています。
たとえば、シンプルなプロセスの場合、シンプルなモードを使用して1つだけのシングルセンサーを監視します。同時蒸着監視には合金モードを使用します。独立したモードによって、STM-2XMは2つの完全に別のモニターとして機能します。


2つのセンター入力によって、2つのシングルセンサーまたは1つのデュアル水晶振動子センサーを使用可能です。1秒あたり10回測定でき、1測定あたり0.037Åの分解能を達成します(密度が1の場合)。

機能について

STM-2XMは8つのプログラム可能なデジタル入力、8つのプログラム可能なデジタル出力、および4つのアナログ出力を備えており、通常はより高価な装置でのみ可能な統合レベルを実現します。
プログラム可能な機能としては、シャッター遅延、時間/電力監視、速度サンプリングが含まれます。これらの機能を使用することでより正確な測定ができ、水晶振動子の寿命を延ばすことができます。
操作は前面パネルまたはLabVIEWベースのソフトウェアで行うことができます。

仕様
タイプSTM-2XM
センサー入力2
測定周波数範囲6.0 to 5.0 MHz
周波数分解能±0.03 MHz(6 MHzにおいて)
膜厚・蒸着レートの分解能±0.037 Å
互換センサーシングル/デュアル
計測モードシンプル/バックアップ/平均/共蒸着/個別(独立)
多層膜機能No
共蒸着機能(書くセンサー向け個別の密度/Z-レシオ)Yes
デジタル入力8
デジタル出力4
通信インターフェースRS-232/RS-485
保存できる材料の数15

※Tooling/density = 100/1、基本周波数=6MHz、測定間隔 0.10秒
USBタイプの 膜厚・レートモニター STM-2
薄膜蒸着コントローラー SQC310シリーズ
多層膜蒸着用 膜厚・レートモニター SQM160

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