膜厚・蒸着レートモニター STM-2XM
メーカー名：インフィコン株式会社
製品情報
特徴
STM-2XMは精度と柔軟なプログラミング、および容易な操作を組み合わせた低価格の2チャネルのレート/膜厚モニターです
STM-2XMはシンプルなプロセスから複雑なプロセスに対応する5つの操作モードを備えています。
たとえば、シンプルなプロセスの場合、シンプルなモードを使用して1つだけのシングルセンサーを監視します。同時蒸着監視には合金モードを使用します。独立したモードによって、STM-2XMは２つの完全に別のモニターとして機能します。
2つのセンター入力によって、2つのシングルセンサーまたは１つのデュアル水晶振動子センサーを使用可能です。1秒あたり10回測定でき、1測定あたり0.037Åの分解能を達成します（密度が1の場合）。
■機能について
STM-2XMは8つのプログラム可能なデジタル入力、8つのプログラム可能なデジタル出力、および4つのアナログ出力を備えており、通常はより高価な装置でのみ可能な統合レベルを実現します。
プログラム可能な機能としては、シャッター遅延、時間/電力監視、速度サンプリングが含まれます。これらの機能を使用することでより正確な測定ができ、水晶振動子の寿命を延ばすことができます。
操作は前面パネルまたはLabVIEWベースのソフトウェアで行うことができます。
仕様
| タイプ | STM-2XM |
| センサー入力 | 2 |
| 測定周波数範囲 | 6.0 to 5.0 MHz |
| 周波数分解能 | ±0.03 MHz(6 MHzにおいて) |
| 膜厚・蒸着レートの分解能※ | ±0.037 Å |
| 互換センサー | シングル/デュアル |
| 計測モード | シンプル/バックアップ/平均/共蒸着/個別(独立) |
| 多層膜機能 | No |
| 共蒸着機能(書くセンサー向け個別の密度/Z-レシオ) | Yes |
| デジタル入力 | 8 |
| デジタル出力 | 4 |
| 通信インターフェース | RS-232/RS-485 |
| 保存できる材料の数 | 15 |
※Tooling/density = 100/1、基本周波数＝6MHz、測定間隔 0.10秒
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