バルブドクラッカーセルSb
メーカー名：Veeco Instruments Inc.
製品情報
特長
- Sb等反応性高蒸気圧材料に多くの実績があります。
対象材料
| Sb | Te | Cd | CdTe | Mg | Zn |
仕様
| 200cc | 2000cc | ||
| 最大充填量 | 245cc (垂直時) | 2474cc (垂直時) | |
| 最小フランジ サイズ | 標準 | ICF114 ICF152 | ICF152 ICF152 |
| 水冷 | ICF152 | ||
| 真空内長(フランジ端面から) | 最小：216mm 最大：343mm | 289mm | |
| 真空内径 | 標準 | 56mm | お問い合せください |
| 水冷 | 69mm | お問い合せください | |
| ルツボサイズ/内寸法 | 径：φ48m 高さ：140mm | 径：φ125mm 高さ：224mm | |
| 最大充填時の径 | 25mm | 19mm | |
| 操作温度 | バルク部 | 200℃～600℃ | 200℃～600℃ |
| コンダクタンス部 | 600℃～1200℃ | 300℃～700℃ | |
| クラッキング部 | 600℃～1200℃ | 600℃～1200℃ | |
| 最大脱ガス温度 | バルク部 | 800℃ | 800℃ |
| コンダクタンス部 | 1300℃ | 800℃ | |
| クラッキング部 | 1500℃ | 1400℃ | |
| 水冷機構 | 蒸発部は標準、 クラッキング部のクーリングコイル又は ジャケットはオプション | ||
| バルブ動作 | 自動バルブポジショナー推奨、または手動マイクロメータ | ||
| バルブレスポンスタイム | 全開から全閉まで5秒以下 (自動バルブポジショナー使用時) | ||
| 電源 | 電源と温度コントローラ各3台のユニットが必要 | ||