ドーパントセル
メーカー名：Veeco Instruments Inc.
製品情報
特長
- 最小のオーバーシュートにより高速安定化を実現しております。
- 高い再現性と信頼性があります。
対象材料
| Bi | Sn | SnTe | Si |
仕様
| 容量 | 5cc | 12cc |
| MBE装置 | 全ての研究用・生産用装置に使用可能 | |
| ドーパント材料 | Si、Be、その他低温から中温の蒸気圧材料 | |
| ルツボの形状 |  |  |
| フィラメントタイプ | シングルTaワイヤー | |
| 取付フランジ | 最小ICF70 | |
| 熱電対 | Type C（Ｗ/Re5/26％) | |
| 最小：203mm、最大：381mm | ||
| 真空内直径 (標準) | 30mm | 36mm |
| 真空内直径 (水冷) | 56mm | 56mm |
| 操作温度 | 750～1350℃（低温の場合：100～750℃） | |
| 最高脱ガス温度 | 1600℃（低温の場合：1000℃） | |
| 水冷機構 | オプション | |
| 電力 | 15Ａ/750Ｗ | |
| 電源 | 電源と温度コントローラ各1台のユニットが必要 | |
※1.5ccデュアルドーパントセルもございます。